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          北京正通遠(yuǎn)恒科技有限公司
                                
                
                
          

							
          
                        			
          
		
          
	
          
	
	
          
		
          
            
          
                當(dāng)前位置：北京正通遠(yuǎn)恒科技有限公司>>半導(dǎo)體行業(yè)儀器>>陰極熒光檢測設(shè)備>>全晶圓工業(yè)陰極熒光CL-SEM系統(tǒng)
            
          
			
          
				
          
					
          全晶圓工業(yè)陰極熒光CL-SEM系統(tǒng)
          
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          參  考  價(jià)面議  
          
					                    
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          
				
          
				
				
          
						
          
							
          產(chǎn)品型號(hào)Säntis 300
          
							
          品       牌其他品牌
          
		                    
          廠商性質(zhì)代理商
          
		                    							
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								更新時(shí)間：2024-05-09 13:05:00瀏覽次數(shù)：670次
							
          
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                    產(chǎn)品簡介
                
          
				
          
                      
          
                                                                      
          
					
          全晶圓工業(yè)陰極熒光CL-SEM系統(tǒng)提供 “不折不扣"大視場快速掃描的同時(shí)獲取SEM圖像、高光譜CL圖像和光學(xué)光譜。較小直徑的晶圓，或形狀混雜的襯底被手動(dòng)加載到300mm的中間感受器上，然后儀器自動(dòng)處理。
          該系統(tǒng)是全晶圓陰極發(fā)光顯微鏡，可以自動(dòng)化控制150、200和300毫米晶圓。
          
				
          
				
          
                    詳細(xì)介紹
                
          
			    
          
			        
          
			            
          產(chǎn)品簡介
          Attolight定量CL-SEM系統(tǒng)提供 “不折不扣"大視場快速掃描的同時(shí)獲取SEM圖像、高光譜CL圖像和光學(xué)光譜。較小直徑的晶圓，或形狀混雜的襯底被手動(dòng)加載到300mm的中間感受器上，然后儀器自動(dòng)處理。
          S?ntis 300全晶圓工業(yè)CL-SEM系統(tǒng)是全晶圓陰極發(fā)光顯微鏡，可自動(dòng)化控制150、200和300毫米晶圓。

          優(yōu)點(diǎn)及特點(diǎn)
          1、控制可\達(dá)300毫米的晶圓
          2、高\(yùn)效的CL-SEM掃描成像效率
          3、同時(shí)進(jìn)行電鏡成像和光學(xué)信號(hào)采集
          4、邊緣檢測，晶圓準(zhǔn)確定位(優(yōu)于10µm)
          5、對(duì)晶圓翹曲度自動(dòng)映射和調(diào)整
          6、S?ntis 300系統(tǒng)提供3種不同的采集模式，為不同的需求和應(yīng)用量身定制:
          • 面掃描模式（FWBrush模式）
          • 線掃描模式（AWPix模式）
          • 多點(diǎn)掃描模式

          產(chǎn)品應(yīng)用
          工業(yè)市場應(yīng)用：
          1、GaN 及其應(yīng)用:
           高強(qiáng)度LED要求高發(fā)射效率和高可靠性。以汽 車應(yīng)用為例，LED故障影響安全，危及人身安 全；UVC LED 要求高的發(fā)射效率和高的發(fā)射均勻 性；LED故障會(huì)使人的生命處于危險(xiǎn)之中，例如在滅菌和消毒應(yīng)用中。
          2、光子學(xué)：激光光子學(xué)
          3、電力電子應(yīng)用 GaN：電力電子應(yīng)用需要更大的功率、更小和更輕 的包裝，例如物聯(lián)網(wǎng)或汽車應(yīng)用
          4、II-VI族材料：GaAs 及其應(yīng)用: 太陽能, 電力電子；電力電子SiC ；µLED
          其他應(yīng)用舉例：
          1、微觀結(jié)構(gòu)發(fā)光二極管(MicroLed)
          2、LED質(zhì)量控制
          3、GaN中的螺紋位錯(cuò)缺陷計(jì)數(shù)
          4、碳化硅襯底質(zhì)量控制













































































































          
			        
          
			    
          
                			    
          關(guān)鍵詞：顯微鏡
          
                                                				
			
          
			
          
		
          
	
          
	
    
          
		
          
			
          
				
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