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詳細(xì)介紹
詳情介紹：
緊湊型等離子清洗機(jī)主要特點(diǎn)：
1.使用各種氣體清洗和去除晶片上的納米級有機(jī)污染物，至多可容納2"。
2.涂層前預(yù)清洗單晶基板的優(yōu)良工具，可獲得更好的薄膜質(zhì)量。
3.鉸鏈?zhǔn)介T，便于樣品裝載。
4.3"直徑石英腔室，適用于清潔2"晶圓，可選配石英舟。
5.石英室內(nèi)的可移動(dòng)石英管易于清潔和更換。
緊湊型等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)：
| 射頻功率 | 射頻功率（線圈上施加的高壓和高頻電流）可在三個(gè)級別調(diào)節(jié)：
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| 等離子室 | ?3"直徑×6.5"長的石英室 ?700 mL容量 ?高純度石英室比玻璃具有更長的使用壽命 | ||||||||||||
| 真空計(jì)和顯示器 | ?Stinger壓力表安裝在鉸鏈門上。 ?1/8"NPT針閥，可定性控制氣體流量和腔室壓力。 ?1/8"NPT三通閥，可快速切換出氣體，隔離腔室和排氣。 | ||||||||||||
| 真空泵 | 包括一個(gè)雙級旋片式真空泵 | ||||||||||||
| 輸入功率 | AC 208 - 240V, 50/60Hz,單相 | ||||||||||||
| 工作氣體 | ?可以選擇許多惰性氣體進(jìn)行等離子體清潔，例如N2，Ar，空氣和混合氣體取決于將要處理的材料類型。 ?可以使用<5％H2混合惰性氣體 ?等離子清潔器不得使用。 | ||||||||||||
| 整體尺寸 |
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| 凈重 | 40磅 | ||||||||||||
| 保證 | 一年有限保修，終身支持(耐熱玻璃室無保修) |
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