￥360000
伯東企業(yè)（上海）有限公司
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上海伯東代理美國(guó)KRI 射頻離子源 RFICP 100
| 參考價(jià): | ￥ 1140000 |
| 訂貨量: | 1臺(tái) |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- 產(chǎn)品型號(hào)
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訪問(wèn)次數(shù)：316更新時(shí)間：2023-04-06 11:01:43
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
KRI 射頻離子源屬于大面積射頻離子源, 離子束流: >350 mA; 離子動(dòng)能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000. 流量（Typical flow）:5-30 sccm
采用射頻技術(shù)產(chǎn)生離子, 無(wú)需電離燈絲, 工藝時(shí)間更長(zhǎng).
產(chǎn)品介紹
上海伯東代理美國(guó)考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 射頻離子源 RFICP 100, 離子束可聚焦, 平行, 散射.
KRI 射頻離子源屬于大面積射頻離子源, 離子束流: >350 mA; 離子動(dòng)能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000. 流量(Typical flow):5-30 sccm
采用射頻技術(shù)產(chǎn)生離子, 無(wú)需電離燈絲, 工藝時(shí)間更長(zhǎng).
離子源采用模塊化設(shè)計(jì), 方便清潔/ 保養(yǎng)/ 維修/ 安裝.
適用于離子濺鍍和離子蝕刻, 實(shí)現(xiàn)薄膜特性. 在離子刻蝕工藝中, 離子源與離子光學(xué)配合, 蝕刻更均勻.
伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 100 技術(shù)參數(shù):
型號(hào) | RFICP 100 |
Discharge | RFICP 射頻 |
離子束流 | >350 mA |
離子動(dòng)能 | 100-1200 V |
柵極直徑 | 10 cm Φ |
離子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 5-30 sccm |
通氣 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型壓力 | < 0.5m Torr |
長(zhǎng)度 | 23.5 cm |
直徑 | 19.1 cm |
中和器 | LFN 2000 |
* 可選: 燈絲中和器; 可變長(zhǎng)度的增量
伯東KRI 考夫曼離子源 RFICP 100 應(yīng)用領(lǐng)域:
1. 預(yù)清洗
2. 表面改性
3. 輔助鍍膜(光學(xué)鍍膜) IBAD,
4. 濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC
5. 離子濺射沉積和多層結(jié)構(gòu) IBSD
6. 離子蝕刻 IBE
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上海伯東: 羅先生
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