全自動(dòng)X-RAY檢測(cè)設(shè)備具有一套Xray成像系統(tǒng)，四軸機(jī)器人自動(dòng)上下料，針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)的分立元件進(jìn)行在線全自動(dòng)檢測(cè)，可自適應(yīng)7英寸，11英寸，13英寸的料盤。該設(shè)備通過Xray發(fā)生器發(fā)出X射線，穿透芯片內(nèi)部，由平板探測(cè)器接收X射線進(jìn)行成像，通過圖像算法對(duì)圖像進(jìn)行分析、判斷，確定良品與不良品，并通過復(fù)盤功能，確定芯片在料盤中的序號(hào)，以便后端將不良芯片挑出。
一、算法軟件功能強(qiáng)
1. 自主研發(fā)的復(fù)盤算法能夠?qū)崟r(shí)復(fù)盤，邊采圖邊復(fù)盤。
2. 人機(jī)交互功能豐富。界面圖片可拖拽、縮放，可在復(fù)盤圖上雙擊NG芯片，即可索引并顯示出該芯片的原圖、NG類型等信息。3. 自主研發(fā)的檢測(cè)算法能夠自動(dòng)準(zhǔn)確地檢測(cè)芯片的線型及芯片導(dǎo)物等不良項(xiàng)。
4. 軟件具備掃碼、MES上傳、人工復(fù)判等功能。
二、檢測(cè)效率高
整盤矩陣式采圖，無需拉料卷料；具有CCD視覺定位系統(tǒng)，機(jī)器人自動(dòng)上料。7英寸料盤檢測(cè)用時(shí)3min(3000pcs)。
三、 生產(chǎn)線對(duì)接
具備與AGV對(duì)接功能。
四、 安全環(huán)保
整個(gè)設(shè)備安全互鎖，三重防護(hù)功能，機(jī)身表面任何部位均滿足安全輻射標(biāo)準(zhǔn)
檢測(cè)內(nèi)容：
1、 IC內(nèi)部異物(如:金屬絲．多余線,多余Die)
2、IC線性缺陷（如:塌線，線擺，線緊，線弧高，線弧低，平頂，飛線、少線，斷線等壞品）
智能制造網(wǎng)