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①DCS集散式控制系統(tǒng)、PLC可編程控制器、數(shù)控系統(tǒng)、ESD系統(tǒng)，振動監(jiān)測系統(tǒng)，汽輪機控制系統(tǒng)
(CPU處理器、模擬量輸入輸出模塊、卡件、控制器、伺服控制器、電源模塊，機器人備件等)

  　PLC是控制系統(tǒng)的核心，程序結構直接影響控制系統(tǒng)的性能，其難點在于配方程序的執(zhí)行。上位機程序采用模塊化編程思路，可對設備硬件的更改做出迅速反應，容易維護、擴展性好、可讀性強。MOCVD工藝過程中需要控制的變量眾多，并且眾多變量之間相互關聯(lián)，采用單獨手動操作是滿足不了實時性和可重復性要求的，只能采用配方程序的方式自動控制各個變量。因為生長各種材料的工藝要求不同，配方程序要求能夠實現(xiàn)工藝步的循環(huán)嵌套，工藝條件的等待，變量賦值線性變化，跳過工藝步和在線實時修改等功能。由于本團隊開發(fā)的控制系統(tǒng)可一次性傳送整個配方程序給PLC，而不是一次傳送一步工藝，所以降低了上位機與PLC通訊硬件方面的要求，提高了整個控制系統(tǒng)的可靠性。 
　　 
　　 
　　該軟件可以對所有的數(shù)字量、模擬量進行手動控制，可以對所有參數(shù)的歷史數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析，并自動計算出工藝工程師所關心的參數(shù)，如生長每一層結構所消耗的實際反應物的物質的量。其配方程序的編寫和編譯具有以下優(yōu)點：一次性傳送整個配方程序，程序后臺運行，上位機可只當做監(jiān)控系統(tǒng)；可實現(xiàn)工藝條件等待、工藝步循環(huán)和嵌套；變量賦值線性變化；可實現(xiàn)跳過工藝步、配方程序在線實時修改。

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