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          舟歐工業(yè)科技(上海)有限公司

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          AEG AM 56Z BA 4
          參考價(jià): 面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 產(chǎn)品型號(hào)
          • 品牌
          • 經(jīng)銷(xiāo)商 廠商性質(zhì)
          • 上海 所在地

          訪問(wèn)次數(shù):469更新時(shí)間:2018-10-25 11:57:42

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          聯(lián)人:
          宋日成

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          產(chǎn)品簡(jiǎn)介
          AEG

          ?作為擁有36年以上歷史的直流電源產(chǎn)品*企業(yè),AE 為成千上萬(wàn)的客戶提供服務(wù),通過(guò)下列優(yōu)勢(shì)、解決客戶復(fù)雜的工藝問(wèn)題,為客戶創(chuàng)造價(jià)值:
          產(chǎn)品介紹

          AEG

           

          • 作為擁有36年以上歷史的直流電源產(chǎn)品*企業(yè),AE 為成千上萬(wàn)的客戶提供服務(wù),通過(guò)下列優(yōu)勢(shì)、解決客戶復(fù)雜的工藝問(wèn)題,為客戶創(chuàng)造價(jià)值:
          • 高產(chǎn)量
          • 靶材使用壽命的延長(zhǎng),利用率提高
          • 系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)間的延長(zhǎng)
          • 應(yīng)用支持人員
          • 支持能力

          • AE 的直流電源產(chǎn)品主要通過(guò)物理氣相沉積市場(chǎng)上主要使用的物理氣象沉積工藝——合金濺射以及與有反應(yīng)氣體參與的反應(yīng)濺射,AE電源廣泛應(yīng)用于以下制造市場(chǎng),包括:
             
          • 導(dǎo)體(銅、鋁、鉭、鈦以及更新的異類(lèi)材料)
          • 板顯示器(薄膜晶體管、彩色濾光片、有機(jī) LED)
          • 據(jù)存儲(chǔ)(光存儲(chǔ)、磁存儲(chǔ)以及磁光存儲(chǔ)相結(jié)合)
          • 陽(yáng)能光伏電池(透明導(dǎo)電氧化物和硅沉積)
          • 筑玻璃
          • 進(jìn)產(chǎn)品應(yīng)用(用于光學(xué)裝置、工具涂層、塑料等的薄膜)
          •  
          • Litmas® RPS 1501和3001遠(yuǎn)程等離子源平臺(tái)
          • Litmas® RPS 是采用高傳導(dǎo)、低表面面積結(jié)構(gòu)的*整合遠(yuǎn)程感應(yīng)式等離子源和供電系統(tǒng)。非常適合為晶圓預(yù)清洗、光致抗蝕劑剝離和原子層沉積 (ALD) 等工藝提供反應(yīng)氣體。此外,其大功率密度和高傳導(dǎo)性使其成為后處理廢氣治理的理想平臺(tái)。
          • Litmas RPS 可在不到3毫秒的時(shí)間內(nèi)提供高達(dá)3 kW 的穩(wěn)定射頻功率,從而能夠?qū)崿F(xiàn)90 nm 和300 nm制程的快速變化。
          •  
          • 優(yōu)勢(shì)
          • 特點(diǎn)
          • 減少了對(duì)易損設(shè)備結(jié)構(gòu)的電荷損傷
          • 高反應(yīng)活性物焊劑生成
          • 廣泛的工藝化學(xué)范圍
          • 快速匹配、穩(wěn)定的供電
          • 持有成本降低
          • 增強(qiáng)終端用戶工藝開(kāi)發(fā)和輸出量
          • 整合式電源、匹配和等離子腔室
          • 獲得的 LitmasMatch™ 固態(tài)供電拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)
          • 即插即用的安裝
          • 極其廣泛的匹配范圍
          • 耐用的 SiO2 或 Al2O3 腔室材料
          • 尺寸小
          • 高的等離子功率密度
          • 源與源之間的變化極小
          • Litmas® RPS 前極管道 PFC 治理
          • Litmas® RPS 系統(tǒng)是一種前極管道治理解決方案,可減少半導(dǎo)體制程的變暖影響。這個(gè)高性能的線性感應(yīng)式等離子源*整合了2 MHz 電源和匹配電路。其在 CVD、蝕刻和灰化應(yīng)用中的阻抗使用范圍很廣。
          •  
          • 優(yōu)勢(shì)
          • 特點(diǎn)
          • 以很高的破壞效率,有效地治理對(duì)環(huán)境有害的 PFC 氣體
          • 降低了總治理成本
          • 使前極管道的壓力影響降至低
          • 大的功率效率和工藝靈活性
          • 在各種化學(xué)反應(yīng)中始終如一的性能和可靠性
          • 無(wú)縫整合,無(wú)工藝影響
          •  
          •  
          • Xstream® 遠(yuǎn)程等離子源
          • 高效 Xstream® 遠(yuǎn)程等離子源平臺(tái)產(chǎn)生來(lái)自穩(wěn)定的原料氣體的中性活性種,用于表面改性、腔室清洗、薄膜蝕刻以及等離子輔助沉積。

            安裝在工藝腔室外的 Xstream 平臺(tái)整合了遠(yuǎn)程等離子源、6 kW 或8 kW 的高效電源以及獲得的固態(tài)主動(dòng)式匹配網(wǎng)絡(luò)。該網(wǎng)絡(luò)在一個(gè)腔室清洗源上擁有寬的商業(yè)化阻抗運(yùn)行范圍。Xstream 遠(yuǎn)程等離子源讓工藝工程師擁有的反應(yīng)氣體工藝靈活性,從而提高了系統(tǒng)吞吐量,優(yōu)化了昂貴資源的使用。
          •  
          •  
          • 優(yōu)點(diǎn)
          • 功能
          • 優(yōu)化昂貴資源的使用
          • 提供寬的商業(yè)化阻抗運(yùn)行范圍
          • 可在各種化學(xué)反應(yīng)下無(wú)縫運(yùn)行,包括現(xiàn)有的 PFC/O2 就地腔室清洗方法
          • 提高工藝性能、靈活性和吞吐量
          • 能夠?qū)偷睾瓦h(yuǎn)程 VCD 腔室清洗進(jìn)行簡(jiǎn)化改進(jìn)
          • 利用之前獲得的 AE 主動(dòng)式匹配網(wǎng)絡(luò)技術(shù)
          • 固態(tài)板上主動(dòng)式匹配網(wǎng)絡(luò)
          • *整合式高效400 kHz 電源
          • 可選的虛擬前面板 (VFP) 直觀、即時(shí)、基于軟件的用戶界面
          • 耗水量小
          • 陽(yáng)極硬化、細(xì)微粒、防腐金屬源腔室
          • 可測(cè)量對(duì)等離子的實(shí)際供電之高級(jí)監(jiān)控電路
          • 用于系統(tǒng)整合和監(jiān)控的讀回信號(hào)
          •  
          • AE Xstream 不允許在美國(guó)或歐洲銷(xiāo)售。 
          • AEG
          • Advanced Energy Industries GmbH
          • AEG
          • AEG Power Solutions
          • AEG
          • AEG Power Solutions
          • AEG
          • rosystec GmbH(AEG Power)
          • AEG
          • AM 56Z BA 4
          • AEG
          • AM80ZBA4 NO.30126844 0020
          • AEG
          • AM71Z BA4
          • AEG
          • 0.37kw 8 pole AM90SAA8 AEG/Lafert
          • AEG
          • Thyro-A 2A 400-495 HF RL1 - 2.000.002.359
          • AEG
          • Thyro-A 2A 400-280 HF 1
          • AEG
          • 1S 400-170 HRL1 2000000897
          • AEG
          • THYRO P -1P 400 495HF
          • AEG
          • Thyro-A 2A 400-100 H RL1
          • AEG
          • Thyro-A 1A 400-60 H RLP1
          • AEG
          • Thyro-A 1A 400-45 H RLP1
          • AEG
          • Thyro-A 1A 400-30 H RLP1
          • AEG
          • Thyro-A 2A 400-280 HF 1
          • AEG
          • 2.000.000.400
          • AEG
          • Thyro-A 2A 400-170 H RL1-2.000.001.077
          • AEG
          • Thyro-A 2A 400-495 HF RLP1-2.000.002.395
          • AEG
          • Profibus-Steckkarte Nr:2.000.000.393
          • AEG
          • Thyro-A 2A 400-170 H RLP1
          • AEG
          • 2000000841 Busmodule Profibus DP
          • AEG
          • Thyro-A 2A 400-130 H 1
          • AEG
          • Thyro-S 1S 400-130 H RL1 - 2.000.000.896
          • AEG
          • Modell:AM 80Z CA 4 (B5 flange mounted )1.1KW
          • AEG
          • Thyro-A 2A 400-60 H 1 - 2.000.001.014
          • AEG
          • Thyro-A 2A 400-170 H RL1-2.000.001.077
          • AEG
          • Thyro-A 2A 400-495 HF RL1 - 2.000.002.359
          • AEG
          • 1S400-100H RL1
          • AEG
          • 2.000.000.400
          • AEG
          • Profibus-Steckkarte Nr:2.000.000.393
          • AEG
          • Thyro-P 1P500-495HFASM
          • AEG
          • 1 Thyro-P Steuerger?t 2000000403
          • AEG
          • Thyro-A 2A400-130H1
          • AEG
          • Thyro-S 1S 400-45 H RL1-2.000.000.893
          • AEG
          • Thyro-P 1P500-37HASM
          • AEG
          • Thyro-P 1P500-280HFASM
          • AEG
          • Thyro-P 1P500-110HASM
          • AEG
          • Thyro-P 1P400-25HASM
          • AEG
          • THYRO P -1P 400 495HF
          • AEG
          • 6.000.016.474
          • AEG
          • Thyro-A 2A400-495HF RL1
          • AEG
          • 1S 400-130 H RL1
          • AEG
          • 1S 400-100 H RL1
          • AEG
          • AE 28 TDG 440D

           

          AEG AM 56Z BA 4

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