溫控參數(shù)

溫度范圍

負190℃-600℃（負溫需配液氮制冷系統(tǒng)）

傳感器/溫控方式

100Ω鉑RTD/PID控制（含LVDC降噪電源）

大加熱/制冷速度

+80℃/min(100℃時)，-50℃/min（100℃時）

小加熱/制冷速度

±0.01℃/min

溫度穩(wěn)定性

±0.05℃（＞25℃），±0.1℃（＜25℃）

軟件功能

可設(shè)溫控速率，可設(shè)溫控程序，可記錄溫控曲線

電學(xué)參數(shù)

探針

默認為錸鎢材質(zhì)的彎針探針 可選其他種類探針

探針座

杠桿式探針支架，點針力度更大，電接觸性更好

點針

手動點針，每個探針座都可點到樣品區(qū)上位置

探針接口

默認BNC接頭（可選三同軸）可增設(shè)腔內(nèi)接線柱（樣品接電引線）

臺面電位

默認為電接地，可選電懸空（作背電極），可選三同軸接口

結(jié)構(gòu)參數(shù)

加熱區(qū)/樣品區(qū)

28mm X 30mm

樣品腔高

6.3MM   樣品大厚度由探針決定

放樣

打開上蓋后置入樣品再點針，關(guān)上蓋后無法移動探針

氣氛控制

氣密腔，可充入保護氣體 *另有真空腔型號

外殼冷卻

可通循環(huán)水，以維持外殼溫度在常溫附近

臺體尺寸/重量

180mm X 130mm X26mm /1500g

配置列表

基本配置

溫控探針臺、mK200B溫控器、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)

可選配件

測試源表、真空系統(tǒng)（僅用于真空型號）、三同軸BNC接口、臺面電懸空、樣品接電引線