? Travel 100mm,150mm,200mm,300mm,400mm,500mm,600mm
? 定位精度達（直線誤差修正后）：±1µm（Travel≤200mm）
? 穩(wěn)定且優(yōu)良的軸系提供了平滑運動，經(jīng)算法優(yōu)化可以獲得小的動態(tài)跟隨誤差
? 線性表現(xiàn)優(yōu)良的光柵反饋系統(tǒng)，可以獲得point-to-point位置精度

? 標(biāo)準(zhǔn)的模塊化設(shè)計，靈活的單軸/多軸解決方案
? 整體密封結(jié)構(gòu)，輕量化、高剛性結(jié)構(gòu)設(shè)計，低成本，高性能
HPL-170LM直線電機平臺采用無鐵芯直線電機驅(qū)動，平臺行程從100至600mm。該平臺擁有優(yōu)良的設(shè)計，嚴(yán)苛的軸系裝配工藝，但成本低，這使得HPL-170LM直線電機平臺得以廣泛適用于需要成本效益、精密解決方案的工業(yè)應(yīng)用，如半導(dǎo)體晶圓檢測、微電子組件測試、取放、DNA測序、激光加工等領(lǐng)域。

Construction Features

HPL-170LM直線電機平臺采用7075#航空鋁經(jīng)一體化加工成型，同時減少因?qū)к壓弯X主體不同的熱膨脹系數(shù)引起的折彎效應(yīng)。導(dǎo)軌對稱分布在基座兩側(cè)，減少兩種不同金屬熱膨脹帶來的影響，同時高剛性的基座將負(fù)載情況下的偏轉(zhuǎn)、滾擺降到較小。
導(dǎo)軌鋼球通過與球保持器配合使用，沿經(jīng)精密研磨加工而成的4列滾動面進行滾動，實現(xiàn)了4方向等負(fù)荷、低重心、高剛性、高精度、平滑穩(wěn)定的直線運動，出色的負(fù)載能力、長壽命、低噪音。

Linear Motor Drive

HPL-170LM直線電機平臺采用了無鐵芯直線電機作為驅(qū)動部件。該直驅(qū)平臺擁有較高的速度、較高的加速度和穩(wěn)定的精度表現(xiàn)。由于采用零間隙傳動，可減少相關(guān)結(jié)構(gòu)部件的磨損，同時減少結(jié)構(gòu)部件數(shù)量。因此，HPL-170LM直線電機平臺相對于絲桿驅(qū)動，結(jié)構(gòu)更加緊湊，效率更高。

High Performance

HPL-170LM直線電機平臺集成具有較好線性表現(xiàn)的開放式增量光柵系統(tǒng)，可以提供較好的的分辨率、重復(fù)性和穩(wěn)定性。穩(wěn)定的光學(xué)零位，保障雙向回零的重復(fù)性和可靠性。經(jīng)激光干涉儀標(biāo)定補償，可以輕易獲得好的定位精度。