橫川 YOKOKAWA 系列DD馬達(dá)，有內(nèi)轉(zhuǎn)子和外轉(zhuǎn)子兩種結(jié)構(gòu)類型來滿足更多應(yīng)用需求。直徑從60mm-490mm、連續(xù)扭矩從1-1200N.m有十幾個大小可選規(guī)格，定位精度可達(dá)10arc-sec，重復(fù)定位精度可達(dá)0.5arc-sec。具有高剛性、高精度、低軸向、徑向跳動等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備、光媒體、光學(xué)對位、定位檢測、精密數(shù)控機(jī)床、汽車裝配/檢測、液晶制造設(shè)備、屏幕貼合設(shè)備及科研等微精密制造業(yè)領(lǐng)域。  因?yàn)?YOKOKAWA 直驅(qū)馬達(dá)一體化的結(jié)構(gòu)，負(fù)載可直接安裝在DD馬達(dá)的安裝面上，所以由電機(jī)到工位盤之間沒有精度磨損，增加了設(shè)備的精度。因?yàn)闆]有減速機(jī)的機(jī)械結(jié)構(gòu)，所以沒有像傳統(tǒng)AC伺服那樣的能量損失。用直接驅(qū)動方式使得通過程序改變工位變得容易。