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小流量氣體質(zhì)量流量控制器M3030V 返回列表頁(yè)

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產(chǎn)品型號(hào)M3030V

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所在地大連市

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更新時(shí)間：2016-03-01 10:01:12瀏覽次數(shù)：741次

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產(chǎn)品分類品牌分類

氣體質(zhì)量流量控制器: 流量計(jì)

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小流量氣體質(zhì)量流量控制器M3030V

氣體質(zhì)量流量控制器M3030V，采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償。氣體質(zhì)量流量控制器M3030V是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與電腦連接自動(dòng)控制的氣體流量的穩(wěn)流裝置，能在較寬的量程范圍內(nèi)快速而精確地控制氣體流量。即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有輕微的變化，也不會(huì)影響其正常的工作。

詳情介紹

小流量氣體質(zhì)量流量控制器M3030V

氣體質(zhì)量流量控制器M3030V，采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償。氣體質(zhì)量流量控制器M3030V是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與電腦連接自動(dòng)控制的氣體流量的穩(wěn)流裝置，能在較寬的量程范圍內(nèi)快速而精確地控制氣體流量。即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有輕微的變化，也不會(huì)影響其正常的工作。

小流量氣體質(zhì)量流量控制器M3030V產(chǎn)品亮點(diǎn)：

-類型：MFC氣體質(zhì)量流量控制器

-控制范圍：10sccm ～ 30slpm (sccm:標(biāo)準(zhǔn)毫升/分 slpm:標(biāo)準(zhǔn)升/分)

-準(zhǔn)度等級(jí): ±1% F.S

-耐壓：≤90bar

-標(biāo)準(zhǔn)接口：0-5VDC，4-20mA可選

-響應(yīng)時(shí)間：≤2sec

-使用范圍：2~* for max range

-供電電源：+15~+28Vdc, 350Ma

-漏率：1×10-9atm·cc/sec

-氣路連接：1/4”SWG，1/8”SWG，3/8”SWG，1/4”VCR

-適用介質(zhì)：所有氣體（含腐蝕性氣體和有毒氣體）

-無(wú)需溫度、壓力補(bǔ)償

小流量氣體質(zhì)量流量控制器M3030V

產(chǎn)品型號(hào)	M3030V	M3030A
流量范圍 (N2)	10sccm ～ 30slpm	10sccm ～ 30slpm
響應(yīng)時(shí)間	≤2秒	≤2秒
準(zhǔn)確度	≤±1% 滿量程	≤±1% 滿量程
重復(fù)精度	≤±0.25% 滿量程	≤±0.25% 滿量程
輸出輸入信號(hào)	0~5Vdc	0~5Vdc或4~20毫安
供電	+15~+28Vdc，350毫安	+15~+28Vdc，350毫安
耐壓	≤90 bar	≤90 bar
工作環(huán)境溫度	0~50 °C	0~50 °C

應(yīng)用領(lǐng)域：
－分析儀器     －干刻（RIE/DRIE）     －燃料電池
－生物技術(shù)     －氣相色譜分析         －等離子刻蝕
－激光焊機(jī)     －混氣配氣系統(tǒng)         －微反應(yīng)裝置
－真空鍍膜     －過(guò)程自動(dòng)化           －石化工業(yè)