ASML下一代EUV光刻機(jī)啟動：核心部件到貨

2022-07-22 09:46:10來源：快科技關(guān)鍵詞：光刻機(jī)EUV光刻機(jī)閱讀量：22435

導(dǎo)讀：在本季度中，ASML公司下一代的高NA孔徑EUV光刻機(jī)獲得了重大突破，已經(jīng)收到了來自供應(yīng)商的物鏡、光源及工作臺，這也是光刻機(jī)的三大核心部件，關(guān)系著光刻機(jī)的正常運(yùn)行。

　　荷蘭ASML公司今天發(fā)布了2022年第二季度財(cái)報(bào)，當(dāng)季凈銷售額為54.31億歐元，好于市場預(yù)期的52.6億歐元，上年同期為40.20億歐元，同比增長35%。

　　毛利潤為26.65億歐元，上一季度為17.31億歐元，上年同期為20.45億歐元;毛利率為49.1%，上一季度為49.0%。凈利潤為14.11億歐元，上年同期為10.38億歐元，同比增長36%。

　　Q2新增訂單金額為84.61億歐元，其中包括54億歐元的EUV訂單，較上一季度的新增訂單金額69.77億歐元環(huán)比增長21%。

　　本季度中，ASML公司出貨了12臺EUV光刻機(jī)，比Q1季度的3臺大幅增長，之前因?yàn)榉N種原因限制了出貨。

　　值得一提的是，在本季度中，ASML公司下一代的高NA孔徑EUV光刻機(jī)獲得了重大突破，已經(jīng)收到了來自供應(yīng)商的物鏡、光源及工作臺，這也是光刻機(jī)的三大核心部件，關(guān)系著光刻機(jī)的正常運(yùn)行。

　　根據(jù)ASML的消息，相比目前NA孔徑只有0.33的光刻機(jī)，下一代的EUV光刻機(jī)NA孔徑提升到0.55，有望進(jìn)一步提高芯片工藝，是制造2nm及以下工藝的關(guān)鍵設(shè)備。

　　高NA孔徑的EUV光刻機(jī)價(jià)格也會大幅上漲，相比目前單臺10億元的價(jià)格，下一代光刻機(jī)價(jià)格要暴漲到4億美元，人民幣26億元以上，原型機(jī)預(yù)計(jì)2023年上半年完工，2025年首次投入使用，2026年到2030年主力出貨。

　　Intel是第一個(gè)下單新一代EUV光刻機(jī)的，首批4臺應(yīng)該都是他們的，不過三星及臺積電也下單了，后面也會角逐新一代工藝。

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