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          正在閱讀:打破日本壟斷 三星與東進(jìn)半導(dǎo)體合作開發(fā)成功EUV光刻膠

          打破日本壟斷 三星與東進(jìn)半導(dǎo)體合作開發(fā)成功EUV光刻膠

          2021-12-21 09:07:43來源:快科技 關(guān)鍵詞:EUV光刻膠半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)閱讀量:20563

          導(dǎo)讀:PR,也稱為光刻膠,是半導(dǎo)體曝光工藝中的關(guān)鍵材料。
            EUV光刻工藝除了需要EUV光刻機(jī)之外,也需要配套的EUV光刻膠,目前這一市場(chǎng)也主要被日本廠商壟斷,現(xiàn)在三星與韓國(guó)半導(dǎo)體廠商?hào)|進(jìn)合作開發(fā)成功EUV光刻膠,已經(jīng)通過驗(yàn)證。東進(jìn)半導(dǎo)體19日宣布,近期通過了三星電子的EUV PR(光刻膠)可靠性測(cè)試。
           
            消息人士稱,東進(jìn)半導(dǎo)體在其位于京畿道華城的工廠開發(fā)了EUV PR,并在三星電子華城 EUV生產(chǎn)線上對(duì)其進(jìn)行了測(cè)試,并已通過可靠性測(cè)試。
           
            PR,也稱為光刻膠,是半導(dǎo)體曝光工藝中的關(guān)鍵材料。
           
            它應(yīng)用于芯片上,當(dāng)用半導(dǎo)體曝光設(shè)備照射光時(shí),會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)并改變物理性質(zhì),通過用顯影劑沖洗掉PR來繪制微電路,只留下必要的部分。
           
            2019年,日本與韓國(guó)爆發(fā)爭(zhēng)議之后曾經(jīng)限制三種重要的半導(dǎo)體材料對(duì)韓國(guó)的出口,EUV光刻膠就是其中之一,為此韓國(guó)公司也加快了EUV光刻膠的研發(fā)。
           
            雖然已經(jīng)通過了測(cè)試,不過三星是否會(huì)在EUV生產(chǎn)線上立即使用東進(jìn)半導(dǎo)體的EUV光刻膠還不確定,三星及東進(jìn)拒絕表態(tài)。
           
            (原標(biāo)題:打破日本壟斷 三星與東進(jìn)半導(dǎo)體合作開發(fā)成功EUV光刻膠)
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