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SK海力士加速量產第四代內存：新舊工廠齊上EUV光刻機

2020-11-27 09:11:32來源：快科技關鍵詞：芯片內存海力士閱讀量：22063

導讀：目前，EUV光刻機的部署安裝主要在臺積電、三星的晶圓代工廠。不過，內存廠商們也開始著手上馬了。

　　目前，EUV光刻機的部署安裝主要在臺積電、三星的晶圓代工廠。不過，內存廠商們也開始著手上馬了。

　　此前，SK海力士規(guī)劃的是為年底建成的M16工廠配備，但來自德國CB的消息稱，M14老廠也會引進。

　　EUV光刻機參與的將是SK海力士的第四代(1a nm)內存，在內存業(yè)內，目前的代際劃分是1x、1y、1z和1a。

　　EUV光刻機的參與可以減少多重曝光工藝，提供工藝精度，從而可以減少生產時間、降低成本，并提高性能。

　　當然，EUV光刻機實在是香餑餑。的制造商ASML(荷蘭阿斯麥)產能極有限，盡管一臺要10億元左右，可仍舊供不應求。這一回新老工廠其上位，不知道SK海力士從ASML那里敲定了多少臺。

　　另外，本次報道稱，三星2021年將投產EUV工藝生產的內存，也就是早些時候發(fā)布的16Gb容量LPDDR5。

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