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          蘇州技佳精密儀器有限公司


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          SJ6000激光干涉儀

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          產品型號

          品       牌

          廠商性質其他

          所  在  地蘇州市

          聯(lián)系方式:陳龍查看聯(lián)系方式

          更新時間:2022-09-13 12:24:14瀏覽次數:340次

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          經營模式:其他

          商鋪產品:106條

          所在地區(qū):江蘇蘇州市

          聯(lián)系人:陳龍

          產品簡介

          產品風格:一鍵測量儀 產品簡介:SJ6000激光干涉儀...

          詳細介紹

          詳情介紹

          1. 產品簡介

            激光干涉儀以光波為載體,其光波波長可以直接對米進行定義,且可以溯源至國家標準,是迄今*的高精度、高靈敏度的測量儀器,在制造領域應用廣泛。

            SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體,產品采用進口高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時;采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術,可實現高精度、抗力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調理及細分技術,可實現4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術,支持中文、英文和俄文語言,友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。

            SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、測速下分辨率高等優(yōu)點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,可實現線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。

          2.產品配置

            SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

            其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成??蓾M足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。

          二.工作原理

            激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉(見圖)。若光程差沒有變化時,探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。

            若光程差有變化時,探測器會在每一次光程變化時,在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。

           

          三. 產品功能特點

          精度高

            SJ6000激光干涉儀以干涉技術為核心,其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術,可實現高精度、抗力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

          功能廣

            ● 可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;

            ● 可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

            ● 可實現龍門機床雙軸同步測量;

            ● 可實現對機床回轉軸的測量與校準;

            ● 可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;

            ● 具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等;

            ● 支持手動或自動進行環(huán)境補償。

          軟件強

            ●  友好的人機界面;

            ●  豐富的應用功能模塊;

            ●  向導式的操作流程;

            ●  簡潔化的記錄管理;

            ●  支持中文、英文和俄文界面;

                   ● 支持企業(yè)專屬模板定制。

          四. 技術指標

          4.1. 技術指標

           系統(tǒng)性能

              1、測量方式:單頻

              2、穩(wěn)頻精度:0.05ppm

              3、動態(tài)采集頻率:50 kHz

              4、預熱時間:5-10分鐘

              5、工作溫度范圍:0~40℃

              6、環(huán)境溫度范圍:0~40℃

                 7、存儲溫度范圍:-20℃~70℃


           環(huán)境補償示值誤差

              1、空氣溫度傳感器:±0.2℃ (0-40℃),分辨率0.01℃

                  2、材料溫度傳感器:±0.1℃ (0-40℃),分辨率0.01℃

              3、空氣濕度傳感器:±6% (0-95%)

              4、大氣壓力傳感器:±1mBar (650-1150mbar)

           

             線性測量

              1、測量距離:0-40m

              2、測量精度:0.5ppm (0-40℃)

              3、測量分辨率:1nm

              4、測量速度:4m/sec

           

             角度測量

              1、軸向量程:0-15m

              2、測量范圍:±10°

              3、測量精度:±0.6%R±0.5±0.1M μm/m(M為光學鏡移動距離,單位:m)

              4、測量分辨率:0.1μm/m

           

             直線度測量

              1、軸向量程:0.1-4.0 m

              2、測量范圍:±2.5 mm

              3、測量精度:±0.5% R±0.5±0.15M2 μm(M為光學鏡移動距離,單位:m)

              4、測量分辨率:0.01μm

           

             垂直度測量

              1、測量范圍:±3/M mm/m

              2、測量精度:±0.5% R±2.5±0.8M μm/m(M為光學鏡移動距離,單位:m)

              3、測量分辨率:0.01μm/m

           

             平面度測量

              1、軸向量程:0-15 m

              2、測量范圍:±1.5 mm

              3、測量精度:±0.6% R±0.02 M2 μm/m(M為光學鏡移動距離,單位:m)

              4、測量分辨率:0.1μm

           

             回轉軸分度精度測量

              1、角度測量范圍:0-360°

              2、精密轉臺角度增量:5°

              3、精密轉臺分度精度:±1秒

              4、精密轉臺重復性:0.2秒

           

          4.2. 尺寸重量與供電

              便攜箱尺寸:560×360×250(基礎系統(tǒng)),560×460×270(完整系統(tǒng))

              基本重量(含三腳架,包裝):15Kg

              供電電源:110~265VAC

           

           5. 系統(tǒng)組件

          5.1. 系統(tǒng)組件

          1) SJ6000主機:1臺

          2) 環(huán)境補償單元:1臺

          3) 光學鏡組:

          線性測量光學鏡組:1套(標準配置)

          小型線性光學鏡組:1套(標準配置)

                小角度測量光學鏡組:1套(選配)

                直線度測量光學鏡組:1套(選配)

                垂直度測量光學鏡組:1套(選配)

                平面度測量輔助附件:1套(選配)

          回轉軸測量精密轉臺:1套(選配)

          4) 測量軟件:1套

          5) 便攜式筆記本電腦:1臺

          6) 便攜式儀器配件箱:1個

          7) 通用三腳架:1個

          8) 云臺附件:1套

          9) 磁性表座:2套

          10)  產品使用說明書:1套

          11)  產品合格證、保修卡:1套

          12)  免費保修:1年

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