真空鍍膜冷凍機(jī)polycold|氣相沉積

使用單位：北京大學(xué)生命*、中國運(yùn)載火箭研究院、中國空間研究院、中科院遺傳與發(fā)育所、中科院林業(yè)研究所、南京中國醫(yī)科大學(xué)、山東大學(xué)生命*、北京大學(xué)*附屬醫(yī)院、航天部23所、504所、山西太化集團(tuán)、北京實(shí)力源、深圳森科五金、中國醫(yī)科院病毒所、中國石化勝利油田、陜西量子高科制藥集團(tuán)、成都現(xiàn)代南光、深圳市龍華東田精密涂覆廠等。

-135℃水汽捕集泵   -135℃ Water vapor cryopump
（提供polycold冷媒及維修）
水汽捕集泵 又稱：POLYCOLD、快速循環(huán)水汽深冷泵
應(yīng)用原理:
    在使用油擴(kuò)散泵的高真空環(huán)境中都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點(diǎn)的蒸汽，但其抽除殘余氣體的能力低，時(shí)間長，而且所有殘余氣體還是工件的污染源，從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響。深冷泵則是解決這類問題的上佳選擇。
    深冷泵的工作原理：將一個(gè)能到-120℃以下的制冷盤管，放置在真空室中或油擴(kuò)散泵的泵口，通過其表面的低溫冷凝效應(yīng)，迅速捕集真空系統(tǒng)的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時(shí)間（可縮短60-90%的抽氣時(shí)間）、獲得潔凈的真空環(huán)境（真空度可提高半個(gè)數(shù)量級(jí)，達(dá)到10-8 Torr、10-5 Pa）。
在實(shí)際應(yīng)用當(dāng)中，根據(jù)所放的位置不同可以分為兩類（見圖）：
1、水汽捕集器
    它的制冷盤管經(jīng)常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內(nèi)、卷繞鍍膜上下室內(nèi)等部位。適用于塑料低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場合。盤管需要有加熱除霜裝置，使盤管每次開門之前恢復(fù)到常溫，避免低溫盤管從大氣中吸收大量的水汽而結(jié)霜，影響下次抽真空。 
2、低溫冷阱
    放在油擴(kuò)散泵的泵口，高閥以下，它主要功能是防止油擴(kuò)散泵返油，同時(shí)也可以加快抽速、提高真空度。由于系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，無需除霜裝置。
根據(jù)需要,二者可以分別安裝也可以同時(shí)安裝.
 
 北京天地精儀公司研發(fā)生產(chǎn)的-145℃深冷水汽捕集泵，采用單臺(tái)壓縮機(jī)、自動(dòng)復(fù)疊制冷方式、進(jìn)口壓縮機(jī)及制冷配件、環(huán)?；旌闲椭评鋭┥a(chǎn)，替代液氮，節(jié)約成本。具有制冷速度快、效率高、溫度低、維護(hù)方便等特點(diǎn)，其性能指標(biāo)在國內(nèi)處于地位，達(dá)到甚至超過*水平。
  主要的性能特點(diǎn)
1、快速吸附水、油蒸汽、可縮短排氣時(shí)間60-90%；
2、降溫迅速，3分鐘內(nèi)制冷到-120℃，zui低可到-150℃；
3、2分鐘熱氣除霜，迅速回溫，5分鐘可再降溫;
4、一臺(tái)設(shè)備可設(shè)計(jì)兩路負(fù)載輸出；
5、進(jìn)口壓縮機(jī)，環(huán)?；旌闲椭评鋭?
6、完善的自動(dòng)化控制；
7、具有兩路負(fù)載入口和出口溫度顯示、本機(jī)溫  度顯示；
8、當(dāng)待機(jī)溫度到達(dá)后有指示燈提示，可以開始制冷；
9、除霜溫度自由設(shè)定；
10、具有水溫溫度、排氣溫度顯示；
11、缺水、水溫過高報(bào)警；  
12、壓縮機(jī)排氣過高、壓力過高保護(hù)；
13、電源斷電、缺相報(bào)警；
14、可本地、遠(yuǎn)程控制自由轉(zhuǎn)換；
15、R232計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)接口，計(jì)算機(jī)可讀取溫度數(shù)據(jù)及控制。
 
技術(shù)參數(shù)：
型號(hào)：TH-145-5P，壓縮機(jī)功率：4.6KW，工作溫度：-120至-150度，抽氣速度：51000L/s，制冷量：500，冷凝管面積：0.2m2,冷凝管長度：6m直徑12mm,預(yù)冷時(shí)間：小于等于30min，降溫時(shí)間：小于等于3min,除霜時(shí)間：小于等于3min，再降溫時(shí)間：小于等于3min，適用油擴(kuò)散泵徑：小于等于500mm，冷卻方式：水冷（t小于等于20度）
型號(hào)：TH-145-7P，壓縮機(jī)功率：6.3KW，工作溫度：-120至-150度，抽氣速度：73000L/s，制冷量1200，冷凝管面積：0.5m2,冷凝管長度：12m直徑12mm,預(yù)冷時(shí)間：小于等于30min，降溫時(shí)間：小于等于3min,除霜時(shí)間：小于等于3min，再降溫時(shí)間：小于等于3min，適用油擴(kuò)散泵徑：小于等于800mm，冷卻方式：水冷（t小于等于20度）
型號(hào)：TH-145-10P，壓縮機(jī)功率：8.5KW，工作溫度：-120至-150度，抽氣速度：101000L/s，制冷量：1800，冷凝管面積：0.7m2,冷凝管長度：14m直徑16mm,預(yù)冷時(shí)間：小于等于30min，降溫時(shí)間：小于等于3min,除霜時(shí)間：小于等于3min，再降溫時(shí)間：小于等于3min，適用油擴(kuò)散泵徑：小于等于1000mm，冷卻方式：水冷（t小于等于20度）
型號(hào)：TH-145-12P，壓縮機(jī)功率：10.1KW，工作溫度：-120至-150度，抽氣速度：153000L/s，制冷量：：2500，冷凝管面積：0.9m2,冷凝管長度：18m直徑16mm,預(yù)冷時(shí)間：小于等于40min，降溫時(shí)間：小于等于4min,除霜時(shí)間：小于等于3min，再降溫時(shí)間：小于等于6min，適用油擴(kuò)散泵徑：雙路輸出，冷卻方式：水冷（t小于等于20度）
型號(hào)：TH-145-12P，壓縮機(jī)功率：12.3W，工作溫度：-120至-150度，抽氣速度：250000L/s，制冷量：：3500，冷凝管面積：1.5m2,冷凝管長度：30m直徑16mm,預(yù)冷時(shí)間：小于等于40min，降溫時(shí)間：小于等于5min,除霜時(shí)間：小于等于3min，再降溫時(shí)間：小于等于6min，適用油擴(kuò)散泵徑：雙路輸出，冷卻方式：水冷（t小于等于20度）
 

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