LH型測(cè)量顯微鏡是同時(shí)具有高精度線性測(cè)量和觀察功能的多功能儀器。這使得測(cè)量顯微鏡可對(duì)諸多如半導(dǎo)體、顯示屏、微電子器件、精密汽車零件、注塑件、以及醫(yī)療器具等產(chǎn)品進(jìn)行詳細(xì)檢測(cè)。測(cè)量顯微鏡還可輕易測(cè)量不能進(jìn)行接觸測(cè)量的易碎工件和需要用接觸探針測(cè)量的具有極小細(xì)節(jié)的工件。 測(cè)量顯微鏡所*的重要要素是光學(xué)性能、總體精密、操作性的平衡。以前不可見或幾乎不可見的物體現(xiàn)在不僅可以觀察而且能被測(cè)量，用戶對(duì)測(cè)量顯微鏡性能的期待將持續(xù)增長(zhǎng)，而這些增長(zhǎng)是與操作簡(jiǎn)便、高測(cè)量能力以及對(duì)于此環(huán)境的適應(yīng)性相關(guān)聯(lián)的。

LH型測(cè)量顯微鏡

特點(diǎn)

● 更高的精度

● 數(shù)字成像和影響處理測(cè)量術(shù)

● 更大的載物臺(tái)提高了工件的處理能力

● 非接觸式Z軸高度測(cè)量

● 與數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)協(xié)同工作

輔助對(duì)焦系統(tǒng)

新近研發(fā)的FA照明器具有分光棱鏡輔助對(duì)焦功能，可提供更銳利的圖案?？稍赯軸測(cè)量期間提供精確對(duì)焦。由于不同物鏡焦深差異導(dǎo)致的測(cè)量誤差被降到低。

技術(shù)參數(shù)