臺(tái)式掃描電鏡

1.分辨率：15nm (30kV, SE Image)

                 20nm (30kV, BSE Image)

2.放大倍率：20x~60,000x (有效放大倍率30,000x)

3.加速電壓 ：1kV to 30kV (1/5/10/15/20/30Kv-6 step)

臺(tái)式掃描電鏡

4.觀察圖像：

二次電子圖像

背散射電子圖像(COMPO,TOPO)

二次電子和背散射電子雙重像

二次電子和背散射電子合成像

5.觀察模式: 標(biāo)準(zhǔn)觀察模式及BSE+低真空觀察模式

6.電子槍系統(tǒng):

燈絲類(lèi)型：預(yù)對(duì)中鎢燈絲，帶韋氏帽

偏壓系統(tǒng)：自動(dòng)偏壓方式

電子槍手動(dòng)校正

7.透鏡構(gòu)成

聚光鏡 : 2段式磁線圈透鏡

物鏡 : 1段式磁線圈透鏡

8.探測(cè)器類(lèi)型

E-T Detector (SE) / Solid state (4channel-BSE)

9.載物臺(tái)系統(tǒng)：3軸操控

載物臺(tái)移動(dòng)范圍：X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360°

10.圖像光斑調(diào)整大進(jìn)程: X, Y Image Shift 150?（±75）

11.樣品大尺寸 :

70mm*70mm* 30mm

12.圖像掃描速度

快速掃描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

低速掃描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)

圖片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.)

圖片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

圖片模式3(Photo Mode 3): 5120x1920 (Scan time: 120sec.)

13.自動(dòng)功能

自動(dòng)啟動(dòng)，自動(dòng)聚焦，自動(dòng)亮度對(duì)比度調(diào)節(jié)

14.圖像存儲(chǔ)方式

BMP, JPEG, PNG

15.數(shù)據(jù)顯示

 放大倍率，探測(cè)器類(lèi)型，電壓，真空模式，文本，標(biāo)尺等