全量程皮拉尼熱陰極復(fù)合真空計(jì)（耐高溫150℃，CF35接口）型號(hào):YZ2752-FS庫(kù)號(hào)：M322107

YZ 2752是熱陰極離子規(guī)復(fù)合皮拉尼熱傳導(dǎo)規(guī)的寬量程真空計(jì)，同時(shí)兼容傳統(tǒng)ZJ27離子規(guī)管與ZJ52熱阻規(guī)管。本機(jī)型采用雙路（或單路）數(shù)碼管顯示器，全部參數(shù)設(shè)置與儀器校準(zhǔn)等操作通過前面板四個(gè)智*能按鍵完成。四路光隔離控制開關(guān)輸出、對(duì)數(shù)模擬電壓量輸出、遠(yuǎn)程RS485通訊傳輸，以及可選的無線信號(hào)傳輸功能，為工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)控制提供多種工具。數(shù)字濾波與模擬濾波、高保真信號(hào)傳輸、高壓信號(hào)光隔離、硬軟件溫度補(bǔ)償?shù)燃夹g(shù)的使用，使得YZ 2752在重復(fù)性、響應(yīng)速度、抗干擾等方面有著突-出的優(yōu)-點(diǎn)。本機(jī)型應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體工藝、光伏晶體、科研教學(xué)等領(lǐng)域。

YZ2752規(guī)管組合方式

YZ2752所有組合插座都是兼容的一可插的，軟件自適應(yīng)判斷規(guī)管種類并工作。

YZ2752-FS全量程單路測(cè)量

測(cè)量范圍：1.0E-5~1.0E+5Pa（大氣壓）

YZ2752-FD全量程與半量程雙路測(cè)量

全量程測(cè)量范圍：1.0E-5~1.0E+5Pa（大氣壓）

半量程測(cè)量范圍：1.0E-1~1.0E+5Pa（大氣壓）

YZ2752-GD熱離子規(guī)與熱阻雙路測(cè)量

熱阻規(guī)<3.0Pa時(shí)熱離子規(guī)燈絲自動(dòng)啟動(dòng)，保護(hù)熱陰極燈絲

離子規(guī)測(cè)量范圍：1.0E-5~1.0Pa

熱阻規(guī)測(cè)量范圍：1.0E-1~1.0E+5Pa（大氣壓）

技術(shù)參數(shù)

參數(shù)數(shù)值

測(cè)量范圍1.0×10-5~1.0×10+5 Pa(空氣，N2)

1.0×10-5~1.0×10-4 Pa:±35%

1.0×10-4~1.0×10+4 Pa:±25%

1.0×10+4~1.0×10+5 Pa:±50%

重復(fù)性

1.0×10-5~1.0×10+3 Pa:±5%

1.0×10+3~1.0×10+5 Pa:±25%

耐壓1.5×10+5 Pa

反應(yīng)時(shí)間<100 ms

工作環(huán)境-5oC~+45oC；5~85%,不結(jié)露

存儲(chǔ)環(huán)境-40oC~+80oC；5~90%,不結(jié)露

信號(hào)輸出

雙行5位LED顯示，單位可選Pa、Torr、mBar，四路控制開關(guān)指

示

支持RS485，9600 bps，Modbus RTU（標(biāo)配）

支持四（六）路控制開關(guān)輸出60VDC 0.5a（選配）

支持模擬量輸出+0.0V~+10.0VDC（選配）

支持離子規(guī)燈絲外部禁止（選配）

支持PC電腦上位機(jī)VAccuRay 3.0控制軟件數(shù)據(jù)采集

供電電源

85~265VAC，50~60Hz，0.5a電源；功耗max 35W；

品字插座（（EARTH端端子外部務(wù)必可靠接地?。?/p>

重量與尺寸

<1Kg(不含電纜與規(guī)管)，100H X 98W X170L mm 3

安裝開孔尺寸91+0.2 mm×91+0.2 mm