一、概述

ME32傳感器是采用陶瓷材料經(jīng)特殊工藝精制而成的干式壓力傳感器，陶瓷是一種*的高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗沖擊和振動的材料。陶瓷的熱穩(wěn)定特性可以使它的工作溫度范圍高達(dá)-40～125℃，而且具有測量的高精度、高穩(wěn)定性。其zui大特點(diǎn)是：量程可以小到500Pa，抗過載能力可達(dá)量程的200倍，*解決了其它類型傳感器沒有小量程及在小量程時(shí)過載能力差的缺點(diǎn)，它除具有一般傳感器的量程外，其特色的是它的正負(fù)表壓功能，如：±1kPa，±10kPa等。

陶瓷電容厚膜壓力傳感器的高輸出，廣量程，特別適合制造高性能的工業(yè)控制用壓力變送器。大圓形膜片表面平整、易安裝，是歐美公司壓力變送器生產(chǎn)*傳感器。

二、特點(diǎn)

堅(jiān)固的陶瓷電容敏感膜片

自帶厚膜電路輸出0.5-4.5V

的抗腐蝕、抗磨損性能

平整的大圓形膜片,易安裝

高精度、高穩(wěn)定性

寬的工作溫度范圍

響應(yīng)迅速,無遲滯

量程遷移比達(dá)10:1

可進(jìn)行無源標(biāo)定

三、工作原理

抗腐蝕的干式陶瓷電容壓力傳感器沒有液體的傳遞，過程壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面，襯底的電極與膜片電極的電容量變化比例與壓力大小，使膜片產(chǎn)生0.03mm的位移，電容的變化值經(jīng)激光微調(diào)，傳感器信號調(diào)理電路ASIC放大輸出高達(dá)4000mV的直流電壓，內(nèi)置的溫度傳感器不斷測量介質(zhì)的溫度并進(jìn)行溫度補(bǔ)償。過載時(shí)，膜片貼到陶瓷襯底上而不會損壞。當(dāng)壓力恢復(fù)到正常時(shí)，其性能不受任何影響。*解決了低量程過載能力差的缺點(diǎn)，是擴(kuò)散硅傳感器的升級換代產(chǎn)品。標(biāo)準(zhǔn)化的高輸出具有*的抗*力，配線路板可進(jìn)行大的量程遷移（10:1）。傳感器具有很高的溫度穩(wěn)定性和時(shí)間穩(wěn)定性，自帶溫度補(bǔ)償-20～80℃，并可以和絕大多數(shù)介質(zhì)直接接觸。

ME32陶瓷傳感器由于沒有液體的傳遞作用，無任何填充液，不會產(chǎn)生工藝污染，因此在食品、醫(yī)藥等行業(yè)有著廣泛的應(yīng)用，加之是干式陶瓷膜片，故不受安裝方向影響，以其作為敏感元件生產(chǎn)的壓力變送器被廣泛地應(yīng)用在各種測量壓力的場合。

四、技術(shù)參數(shù)

供電電壓：5VDC

量程范圍：7kPa～2Mpa

響應(yīng)時(shí)間：<1mS

綜合誤差(包括：線性，遲滯，重復(fù)性)：0.1...0.2FS%

零點(diǎn)輸出：500±100mV

滿量程輸出：4500±100mV

溫度特性(溫補(bǔ)范圍：-20-80℃)：±0.01 %FS/℃

穩(wěn)定性：<0.1% FSO/年

供電電流：<2mA

工作溫度：-40～125℃

抗絕緣性：>2kV

外形尺寸：34×7.4mm

五、常規(guī)量程

0…7kPa

0…20kPa

0…35kPa

0…75kPa

0…100kPa

0…200kPa

0…350kPa

0…500kPa

0…700kPa

0…1MPa

0…2MPa