維意真空高低溫真空探針臺(tái)支持定制

一、設(shè)備概述：

　　高低溫真空腔探針系統(tǒng)主要用于為被測芯片提供一個(gè)低溫或者高溫的變溫測量環(huán)境，以便測量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件接觸空氣所帶來的測試結(jié)果誤差。

　　極低溫測試:

　　因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測試時(shí)，空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上，會(huì)導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

　　高溫?zé)o氧化測試：

　　當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí)，氧化現(xiàn)象會(huì)越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移，這時(shí)需要針座的重新定位，探針座位于腔體外部，可以在不破壞真空度的同時(shí)調(diào)整探針達(dá)到理想位置進(jìn)行測量。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來調(diào)整探針的位置。

探針座采用真空室外置結(jié)構(gòu)，通過探針臂與探針實(shí)現(xiàn)同步、線性位移;探針座采用鋁制整體式結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)緊湊、承載大、精度高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)，三維調(diào)節(jié)范圍為X、Y、Z±20mm，驅(qū)動(dòng)方式為手動(dòng)測微頭，驅(qū)動(dòng)位置為V型導(dǎo)軌+交叉滾珠中心驅(qū)動(dòng)，產(chǎn)品定向性能穩(wěn)定，采用精密研磨絲桿M3*0.5分辨率高，配合做大手輪，最小刻度0.01mm，精度0.001mm，直線度單軸0.002mm，重復(fù)定位精度±2微米，單軸直線度±2微米，固定方式為沉孔螺釘固定。自重1.7Kg，負(fù)載5Kg。

　　探針夾具采用同軸探針夾具，接BNC公接頭。阻抗，50歐姆;接頭，Coaxial BNC公口;最小漏電流，10pA;線徑，30AWG;電壓，700V?？紤]到在做晶圓測試時(shí)是在高溫下測量，所以探針夾具連接處需采用高純陶瓷連接，這樣既可以耐高溫，也可以減少放氣量，有利于高真空獲得和數(shù)據(jù)的精準(zhǔn)性!

　　探針臂采用優(yōu)質(zhì)304不銹鋼光軸，可以有效保證探針的水平準(zhǔn)直度和變溫環(huán)境下的剛性，減少形變?cè)斐傻牟涣加绊?。探針臂移?dòng)真空密封裝置，采用壓縮比達(dá)到1:6.5的焊接波紋管，壓縮壽命優(yōu)于10萬次。保證探針臂行程的同時(shí)減少對(duì)探針座造成的負(fù)擔(dān)。

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