設(shè)計特點

六自由度定位，線性行程達 60 mm，角度行程達 30°

具有保證定位精度規(guī)格的精密設(shè)計

最小增量運動，在 XYZ 中為 20 nm，在 θxθyθz 中為 0.2 μrad

靈活的配置和定制

可根據(jù)要求提供真空制備

強大的控制和軟件，可實現(xiàn)工件和刀具坐標(biāo)系的可視化

市場特別的性能

運動系統(tǒng)的設(shè)計和規(guī)范中存在許多權(quán)衡。HEX300-230HL 具有高速和亞微米級精度，消除了應(yīng)用規(guī)格的妥協(xié)。Aerotech 的 HexGen 六足位移臺是當(dāng)今市場上能保證定位精度規(guī)格低于 5 μm 的六足位移臺。

優(yōu)秀的結(jié)構(gòu)設(shè)計

HEX300-230HL 由六個高精度支柱驅(qū)動，這些支柱由精密預(yù)緊軸承、滾珠絲杠和驅(qū)動部件構(gòu)成。與由直流有刷伺服電機驅(qū)動的競爭性六足位移臺不同，HEX300-230HL 由 Aerotech 的交流無刷、無槽伺服電機驅(qū)動，可大限度地延長設(shè)備使用壽命和性能。與使用皮帶、齒輪箱或柔性聯(lián)軸器的競爭性設(shè)計相比，將交流無刷伺服電機直接耦合到滾珠絲杠上可以提高驅(qū)動剛度、提高定位精度和更好的最小增量運動（XYZ 為 20 nm，θxθyθz 為 0.2 μrad）。專門設(shè)計的支柱樞軸接頭提供低摩擦和高剛度，增強了六足位移臺的整體性能。

設(shè)計靈活性

HEX300-230HL 的設(shè)計為用戶優(yōu)化了靈活性和定制選項。平臺和底座可以通過用戶特定的功能或安裝模式輕松修改。HEX300-230HL 在平臺上具有直徑為 100 mm 的通光孔徑，而底座上具有直徑為 60 mm 的通光孔徑，允許從底部進入工件。底座安裝孔直接適用于英制或公制光學(xué)平臺。

提供真空選項

Aerotech 六足位移臺可以真空制備，用于同步加速器樣品或光學(xué)操作、半導(dǎo)體制造和檢測或衛(wèi)星傳感器測試等要求苛刻的應(yīng)用。

強大的控件和軟件

驅(qū)動 HEX300-230HL 的是 Aerotech 基于軟件的 Automation1 機器控制器。Automation1 控制器基于多年在困難運動學(xué)應(yīng)用方面的經(jīng)驗，可通過直觀的界面和實時運動可視化，在多個用戶定義的坐標(biāo)系中對六足位移臺進行簡單的編程和控制。Aerotech 的免費 HexGen™ 選型軟件能夠輕松模擬六足位移臺的可用行程和工作空間。