產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 光機(jī)電一體化設(shè)計(jì)，外形結(jié)構(gòu)簡單；

2. 掃描探頭和樣品臺(tái)集成一體，抗干擾能力強(qiáng)；

3. 精密激光檢測及探針定位裝置，光斑調(diào)節(jié)簡單，操作方便；

4. 采用樣品趨近探針方式，使針尖垂直于樣品掃描；

5. 伺服馬達(dá)手動(dòng)或自動(dòng)脈沖控制，驅(qū)動(dòng)樣品垂直接近探針，實(shí)現(xiàn)掃描區(qū)域精確定位；

6. 高精度大范圍的樣品移動(dòng)裝置，可自由移動(dòng)感興趣的樣品掃描區(qū)域；

7. 高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇；

8. 采用伺服馬達(dá)控制CCD對(duì)焦和光學(xué)放大；

9. 模塊化的電子控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)，便于電路的持續(xù)改進(jìn)與維護(hù)；

10. 集成多種掃描工作模式控制電路，配合軟件系統(tǒng)使用。

軟件特點(diǎn)

1. 可觀測樣品掃描時(shí)的表面形貌像、振幅像和相位像

2. 具備接觸、輕敲、相位、摩擦力、磁力或靜電力工作模式

3. 多通道圖像同步采集顯示，實(shí)時(shí)查看剖面圖

4. 多種曲線力-間距（F-Z）、頻率-RMS（f-RMS)、RMS-間隙（RMS-Z)測量功能

5. 可進(jìn)行掃描區(qū)域偏移、剪切功能，任意選擇感興趣的樣品區(qū)域

6. 激光光斑檢測系統(tǒng)的實(shí)時(shí)調(diào)整功能

7. 針尖共振峰自動(dòng)和手動(dòng)搜索功能

8. 可任意定義掃描圖像的色板功能

9. 支持樣品傾斜線平均、偏置實(shí)時(shí)校正功能

10. 支持掃描器靈敏度校正和電子學(xué)控制器自動(dòng)校正

11. 支持樣品圖片離線分析與處理功能

1. 可觀測樣品掃描時(shí)的表面形貌像、振幅像和相位像

2. 具備接觸、輕敲、相位、摩擦力、磁力或靜電力工作模式

3. 多通道圖像同步采集顯示，實(shí)時(shí)查看剖面圖

4. 多種曲線力-間距（F-Z）、頻率-RMS（f-RMS)、RMS-間隙（RMS-Z)測量功能

5. 可進(jìn)行掃描區(qū)域偏移、剪切功能，任意選擇感興趣的樣品區(qū)域

6. 激光光斑檢測系統(tǒng)的實(shí)時(shí)調(diào)整功能

7. 針尖共振峰自動(dòng)和手動(dòng)搜索功能

8. 可任意定義掃描圖像的色板功能

9. 支持樣品傾斜線平均、偏置實(shí)時(shí)校正功能

10. 支持掃描器靈敏度校正和電子學(xué)控制器自動(dòng)校正

11. 支持樣品圖片離線分析與處理功能

技術(shù)規(guī)格