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產(chǎn)品特色
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 可選高精度：可優(yōu)于0.5%
● 可測范圍廣，0.01~99%
● 響應(yīng)時間快，優(yōu)于10ms
● 內(nèi)置98種氣體
● 可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體，并存儲20種混合氣
技術(shù)指標(biāo)
介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類 內(nèi)置了98種氣體，請參考背面
一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇
量 程 從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（）
測量范圍 0.01～99%
顯示流量 128 % 滿量程
顯 示 屏 帶按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ± （0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）見上段精度升級部分
± （0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）（可選）
累計流量精度 流量精度之外增加± 0.5 %額外誤差
重 復(fù) 性 ± （0.2 %讀數(shù)+0.02 %滿量程）
質(zhì)量流量溫度漂移 0.02 %滿量程當(dāng)溫度從25 ℃起每變化1 ℃
質(zhì)量流量壓力漂移 ± （0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）當(dāng)壓力從標(biāo)定壓力起，每變化1bar
響應(yīng)時間 優(yōu)于10 ms
預(yù)熱時間 < 1 s
標(biāo)定工況 25 ℃ & 1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）
溫度精度 ± 0.75 ℃
工作濕度 0 ～ 95%，無冷凝
工作壓力 1 MPa 表壓（可選2 MPaG高壓系列）
操作壓力 如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80 KPaA以上使用；
其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定
壓力精度 ± 0.5 % 讀數(shù)（讀數(shù)＞1 Atm），或 ± 0.07 PSIA（＜1Atm）
進(jìn)出口壓差 0.5MPa
滿量程壓損 參考詳細(xì)壓損表
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號40 Hz@ 19200波特率；
模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數(shù)字輸入/輸出信號 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*
模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度 在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 量程誤差
供電電壓 7-30 VDC （如選4 - 20 mA輸出，須為15 - 30 VDC）
供電電流 40 mA，80 mA（4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC）
電氣接口 DB9，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質(zhì) 302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強(qiáng)尼龍、鋁
過程連接 詳情參考壓損表
安裝方式 對位置無要求
防護(hù)等級 IP40
認(rèn) 證 ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH、CSA （可選）
* 如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢
精度升級
量程為0.5 SCCM -6000 SLPM，
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標(biāo)升級：
質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取值）
質(zhì)量流量高精度 ± 0.5% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取值）
重復(fù)性 ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）
質(zhì)量流量零點漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃溫差
± 0.01%滿量程/ Atm壓力差
質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01%讀數(shù)/ ℃溫差
± 0.1 %讀數(shù)/ Atm壓力差
