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| 電源系統(tǒng) | 射頻電源 | |
| 功率 | 0~600W | |
| 頻率 | 13.56MHz | |
| 真空系統(tǒng)
| 雙級(jí)旋片泵（油泵） | 16m3/h |
| 真空管路 | 全不銹鋼管路，以及高強(qiáng)度真空波紋管 | |
| 材質(zhì) | 鋁合金（可定制不銹鋼腔體） | |
| 厚度 | 25mm | |
| 密封性 | 級(jí)焊接密封 | |
| 腔體內(nèi)部尺寸 | 20升 | |
| 可用空間間距 | 22.5mm | |
| 電極板布置方式 | 水平布置，可活動(dòng)抽取 | |
| 工作托盤 | 鋼絲網(wǎng) | |
| 氣體系統(tǒng) | 流量范圍 | 0~300SCCM |
| 工藝氣體氣路 | 標(biāo)配兩路，可定制 | |
| 控制系統(tǒng) | 系統(tǒng)控制 | PLC |
| 交付方式 | 7寸觸控屏幕 | |
| 其它參數(shù) | 外形尺寸 | 900×1600×900mm（寬×高×深） |
| 重量 | 150KG | |
1 設(shè)備構(gòu)成及特點(diǎn)
本等離子體表面處理系統(tǒng)主要包括三個(gè)部分： 真空腔及真空系統(tǒng)、 等離子體發(fā)生器、 控制系統(tǒng)。
2 真空腔及真空發(fā)生系統(tǒng)
真空腔固定于機(jī)柜框架內(nèi)，左右兩側(cè)為可拆門，因此內(nèi)部的真空腔及真空系統(tǒng)的維修是極方便的。真空發(fā)生系統(tǒng)由波紋管、KF 接頭、真空泵以及油霧過(guò)濾器組成，此泵維護(hù)簡(jiǎn)單方便，抽速穩(wěn)定，
質(zhì)量耐用，保養(yǎng)時(shí)，每次按照用量來(lái)更換真空泵油，并妥善處理廢棄油品；保養(yǎng)和維護(hù)請(qǐng)按照泵的使用說(shuō)明書進(jìn)行。
3 等離子體發(fā)生器
等離子體發(fā)生器在 20Pa-100Pa 間給電極板施加電壓，產(chǎn)生低溫等離子體。利用高頻轉(zhuǎn)換技術(shù)形成高頻電壓加到電極板上，當(dāng)真空腔內(nèi)達(dá)到一定真空度時(shí)，產(chǎn)生等離子體放電現(xiàn)象，放電后電路會(huì)自
動(dòng)調(diào)節(jié)電壓到適當(dāng)值，保證電路正常穩(wěn)定放電。
行業(yè)應(yīng)用
手機(jī)行業(yè)：TP、中框、后蓋表面清洗活化
PCB/FPC行業(yè)：孔內(nèi)鉆污及表面清潔、Coverlay表面粗化及清潔
半導(dǎo)體行業(yè)：半導(dǎo)體封裝、攝像頭模組、LED封裝、BGA封裝、Wire Bond前處理
陶瓷：封裝、點(diǎn)膠前處理
表面粗化蝕刻：PI表面粗化、PPS蝕刻、半導(dǎo)體硅片PN結(jié)去除、ITO膜蝕刻
塑膠材料：Teflon特氟龍表面活化、ABS表面活化、以及其他塑料材質(zhì)清洗活化
ITO涂覆前表面清洗
概述：是正離子和電子密度大致相等的電離氣體。由離子、電子、自由激進(jìn)分子、光子以及中性粒子組成，是物質(zhì)的第四態(tài)。人們普遍認(rèn)為的物質(zhì)有三態(tài)：固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)。區(qū)分這三種狀態(tài)是靠物質(zhì)中所含能量的多少。給氣態(tài)物質(zhì)更多的能量，比如加熱，將會(huì)形成等離子體，在宇宙中99.99％的物質(zhì)處于等離子狀態(tài)。
清洗原理：通過(guò)化學(xué)或物理作用對(duì)工件表面進(jìn)行處理，實(shí)現(xiàn)分子水平的污染物去除（一般厚度為3～30nm），從而提高工件表面活性。被清除的污染物可能為有機(jī)物、環(huán)氧樹脂、光刻膠、氧化物、微顆粒污染物等。對(duì)應(yīng)不同的污染物，應(yīng)采用不同的清洗工藝，根據(jù)選擇的工藝氣體不同，等離子清洗分為化學(xué)清洗、物理清洗及物理化學(xué)清洗。
化學(xué)清洗:表面反應(yīng)以化學(xué)反應(yīng)為主的等離子體清洗，又稱PE。
例1：O2＋e－→ 2O※ +e－ O※＋有機(jī)物→CO2+H2O
從反應(yīng)式可見，氧等離子體通過(guò)化學(xué)反應(yīng)可使非揮發(fā)性有機(jī)物變成易揮發(fā)的H2O和CO2。
例2：H2+e-→2H※+e- H※+非揮發(fā)性金屬氧化物→金屬＋H2O
從反應(yīng)式可見，氫等離子體通過(guò)化學(xué)反應(yīng)可以去除金屬表面氧化層，清潔金屬表面。
物理清洗：表面反應(yīng)以物理反應(yīng)為主的等離子體清洗，也叫濺射腐蝕（SPE）。
例：Ar＋e-→Ar++2e- Ar++沾污→揮發(fā)性沾污
Ar+在自偏壓或外加偏壓作用下被加速產(chǎn)生動(dòng)能，然后轟擊在放在負(fù)電極上的被清洗工件表面，一般用于去除氧化物、環(huán)氧樹脂溢出或是微顆粒污染物，同時(shí)進(jìn)行表面能活化。
物理化學(xué)清洗：表面反應(yīng)中物理反應(yīng)與化學(xué)反應(yīng)均起重要作用。
等離子清洗設(shè)備
等離子清洗設(shè)備的原理是在真空狀態(tài)下，壓力越來(lái)越小，分子間間距越來(lái)越大，分子間力越來(lái)越小，利用射頻源產(chǎn)生的高壓交變電場(chǎng)將氧、氬、氫等工藝氣體震蕩成具有高反應(yīng)活性或高能量的離子，然后與有機(jī)污染物及微顆粒污染物反應(yīng)或碰撞形成揮發(fā)性物質(zhì)，然后由工作氣體流及真空泵將這些揮發(fā)性物質(zhì)清除出去，從而達(dá)到表面清潔活化的目的。是清洗方法中的剝離式清洗，其在于清洗后無(wú)廢液，特點(diǎn)是對(duì)金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料等都能很好地處理，可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。
