超純水設(shè)備的工藝流程通常包括預(yù)處理系統(tǒng)、反滲透系統(tǒng)、電離交換系統(tǒng)（如混合床、EDI裝置等）、紫外線殺菌器、精密過濾器等步驟。預(yù)處理系統(tǒng)主要用于去除水中較大的顆粒、懸浮物和部分有機(jī)物，反滲透系統(tǒng)則進(jìn)一步去除離子物質(zhì)和大分子物質(zhì)。電離交換系統(tǒng)通過樹脂去除水中的離子，確保水的離子含量降低到痕量水平。紫外線殺菌器和精密過濾器則用于確保超純水中不含有微生物和有機(jī)物，滿足各類實(shí)驗(yàn)和應(yīng)用需求。?

反滲透技術(shù)：這是超純水設(shè)備的關(guān)鍵技術(shù)之一。反滲透是一種將水通過半透膜進(jìn)行分離的過程。在反滲透過程中，水被壓力推動穿過半透膜，而其中的雜質(zhì)則被過濾掉，從而收集到純凈的水。反滲透膜的孔徑非常小，約為0.0001微米，能夠有效去除水中的離子物質(zhì)和大分子物質(zhì)，如病毒和微生物

電離交換技術(shù)：電離交換是通過樹脂來去除水中離子的過程。水通過裝有樹脂的容器時(shí)，樹脂中的離子會與水中的離子進(jìn)行交換，從而去除水中的雜質(zhì)。這種技術(shù)進(jìn)一步提高了水的純凈度

超濾技術(shù)：超濾是一種將水通過微孔直接過濾的技術(shù)。這種技術(shù)能夠過濾掉水中的大分子物質(zhì)，使水變得更加清澈。