GFM系列用于測(cè)量氣體質(zhì)量流量。本品外殼堅(jiān)固耐用，精確度高，是一款多功能而且經(jīng)濟(jì)實(shí)用的流量測(cè)量產(chǎn)品?？蛇x鋁或不銹鋼外殼，可選顯示工程單位（標(biāo)準(zhǔn)）或百分比。外形設(shè)計(jì)包括一個(gè)置于傳感器頂部的LCD顯示模塊，這個(gè)顯示模塊可傾斜90度以上以方便讀數(shù)。它用一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的插頭與傳感器連接，也可以分開獨(dú)立安裝。OEM的應(yīng)用可提供無LCD顯示的產(chǎn)品。GFM質(zhì)量流量計(jì)的測(cè)量范圍是10sccm到1000sL/min（N2）；用1/4"，1/8"和1/2"卡套螺紋或3/4"FNPT接，可選其他連接方式。該儀表可以作為臺(tái)式設(shè)備或者用螺絲在平板上固定。
電源電路采用保險(xiǎn)絲和極性保護(hù)設(shè)計(jì)。
滲漏率：氦氣測(cè)試泄漏率為1×10-7 sml/s。被測(cè)氣體分別流經(jīng)兩個(gè)層流區(qū)，一路通過主流量管道，另一路通過毛細(xì)測(cè)量管。兩個(gè)管路的設(shè)計(jì)保證流體處于層流狀態(tài)，因此兩個(gè)管路流量比是恒定的。兩個(gè)精密的溫度感應(yīng)繞組在測(cè)量管上被加熱，當(dāng)有流量產(chǎn)生時(shí)，被加熱的氣體從上游帶走熱量到下游的感應(yīng)繞組上。產(chǎn)生溫差和感應(yīng)圈電阻的變化是成比例的。
測(cè)量繞組的電阻值與瞬時(shí)流量成線性比例關(guān)系，采用惠斯頓電橋來檢測(cè)測(cè)量繞組的電阻變化。根據(jù)被測(cè)氣體的質(zhì)量流量，輸出0…5 V D C或者4…20mA信號(hào)。經(jīng)過兩個(gè)層流區(qū)的氣體混合后流過具有特定孔徑的電磁比例閥，質(zhì)量流量測(cè)量與電磁比例閥組成閉環(huán)的控制系統(tǒng)，使流量穩(wěn)定在設(shè)定的流量值上。在一定范圍內(nèi)溫度和壓力的變化不會(huì)影響流量測(cè)量值。