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          拋光研磨機PG3000RMX

          參考價面議
          具體成交價以合同協(xié)議為準
          • 公司名稱青島益嘉元科貿(mào)有限公司
          • 品       牌
          • 型       號
          • 所  在  地青島市
          • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
          • 更新時間2024/8/9 11:30:38
          • 訪問次數(shù)179
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          青島益嘉元科貿(mào)有限公司是專業(yè)經(jīng)營各類進口機械設(shè)備,儀器儀表及各種配件的一站式進口產(chǎn)品綜合服務(wù)商.
              優(yōu)秀的產(chǎn)品和完善的服務(wù)是我司努力的目標,希望能為客戶提供更好的選擇.
              我司主要代理BACHARACH鹵素檢漏儀H25-IR,冷媒回收機,冷媒分析儀;愛發(fā)科ULVAC-氦質(zhì)譜檢漏儀;愛發(fā)科ULVAC-真空計;愛發(fā)科ULVAC-真空泵;新機械NEW-MACHINE-快速接頭;神港精機SHINKO SEIKI-真空泵;淺野ASANO-真空成型機;*CONTEC-板卡,工控機;大進DAISHIN-自動焊接機,點火器;松村MORESCO-潤滑油;出光IDEMITSU-潤滑油;共和KYOWA-應(yīng)變測試儀,應(yīng)變片;大和DAIWA-防銹劑,那智不二越NACHI-焊接機器人,搬運機器人等產(chǎn)品.
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          實現(xiàn)15um厚度晶圓量產(chǎn)的高度集成化一體機 PG3000RMX
          拋光研磨機PG3000RMX 產(chǎn)品信息
          產(chǎn)品簡介:

          東京精密減薄研磨機

          為將晶圓減薄到一定厚度,晶圓的圖形面會貼上一層保護膠帶,然后用磨輪和拋光材料對晶圓背面進行研磨。由于半導(dǎo)體材料用晶圓越來越薄,傳統(tǒng)的研磨機已經(jīng)不能滿足使用要求。

                                               

          產(chǎn)品特性:

          ■ NCIG 非接觸式在線測量和自動TTV控制

          現(xiàn)在的接觸式測量系統(tǒng)可測量包含BG膠帶的晶圓厚度。BG膠帶的厚度偏差會影響到晶圓厚度的測量精度。比如,如果BG膠帶的厚度公差是 +/-5μm,如果晶圓的厚度是25um的話,結(jié)果會有20%左右的測量偏差。非接觸式在線測量系統(tǒng)僅測量晶圓厚度,因此BG膠帶的厚度公差可被過濾掉。自動TTV控制功能可以很好的補償晶圓形狀。

          ■ EGF(外部電荷聚集功能)

          當(dāng)晶圓背面同時進行研磨和應(yīng)力釋放工藝時,被捕獲層就被去除掉了。東京精密可用紋理工藝得到電荷聚集層。

          實現(xiàn)了電荷聚集功能、提高了超薄芯片的抗折強度。

          ■ WCS(晶圓清洗系統(tǒng))

           東京精密為COS圖像傳感器LCD驅(qū)動器和TSV等提供各種清洗系統(tǒng)。

          和激光切割機的集成系統(tǒng)

          東京精密將激光切割機與研磨機集成為一體機,實現(xiàn)了25um厚度芯片的無損加工。


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