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半導體晶圓激光打孔機

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公司名稱深圳市韻騰激光科技有限公司
品牌
型號
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時間2024/7/2 18:12:51
訪問次數(shù)191

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深圳市韻騰激光科技有限公司（Inte Laser）是一家自動化高精密激光應用專業(yè)設備制造商；是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及售后為一體的；目前已有多項發(fā)明、實用新型及計算機軟件著作權等。 Inte Laser 堅信品質(zhì)為發(fā)展的基礎，以科學*的組裝工藝，90%以上的進口原材料、高精密的檢測儀器和設備，嚴格、苛刻的檢驗標準，保障設備品質(zhì)，為客戶提供自動化、高精密、高效率、高指標、高穩(wěn)定性的產(chǎn)品。 Inte Laser堅持以科技先行，不斷追求技術創(chuàng)新，90%以上是由行業(yè)高級工程師、專家、碩士等組成的科技研發(fā)團隊，專業(yè)服務于自動化高精密激光的切割、微焊接、鉆孔、標刻、蝕刻、調(diào)阻、劃線等方面的設備研發(fā)。 Inte laser自主研發(fā)生產(chǎn)的全自動晶圓激光標刻設備、皮秒激光玻璃鉆孔設備、高精密玻璃/藍寶石/濾光片激光切割設備、全面屏激光精密切割設備、全自動SD卡激光切割、 PCB/FPC激光標刻設備、全自動激光切割貼片設備、LCP激光精密切割設備等獲得多家企業(yè)的用戶好評。 Inte Laser擁有完善的市場和技術支持體系，在中國的華東、華南建有專業(yè)的銷售、售后網(wǎng) 點，保障客戶稱心滿意的使用Inte Laser產(chǎn)品。

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半導體晶圓激光打孔機產(chǎn)品信息

歡迎個性定制

專業(yè)定制團隊可根據(jù)客戶的需求，提供個性化定制服務。如有此類需求，歡迎咨詢客服熱線：。

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韻騰激光可以提供免費打樣服務。技術咨詢，工藝咨詢，產(chǎn)品咨詢，乘車咨詢，請直接來電！

歡迎實地參觀
韻騰激光的產(chǎn)品品質(zhì)行業(yè)，歡迎來公司實地參觀考察！多家企業(yè)激光品牌，多家企業(yè)共同見證。

1、該設備采用IPG激光器，功率穩(wěn)定、壽命長、免維護

2、孔深比大，微孔圓度好

3、光路固定，平臺移動，孔型一致性好，垂直度好

4、同步運動打孔，速度快

5、自動布孔，孔距可設定，準確打孔

6、引導入DXF、PLT等圖形，根據(jù)圖形要求打孔

7、采用雙閉環(huán)位置控制，精度高

8、真空吸附，操作方便

9、吸塵處理，設備可放于超凈間

相關應用：

應用于硅晶片，半導體晶圓，非晶薄膜等材料

技術規(guī)格參數(shù)：

序號	項目	技術參數(shù)
光學單元
1	激光器類型	355、532、1064nm可選 10ps
2	冷卻方式	恒溫水冷
3	激光功率	10~100W
4	光束質(zhì)量	M2<1.3
5	聚焦方式&加工頭數(shù)	單點&平場聚焦鏡、雙頭
6	最小聚焦光斑直徑	Ф3--15μm
激光加工性能
7	加工速度	100~3000mm/s可調(diào)
8	最小崩邊	3μm
9	加工材料厚度	2mm
10	加工尺寸&精度	12inches, ±5μm
機械單元
11	機床結(jié)構	龍門式
12	機床運動軸數(shù)&種類	最多8軸, X，Y, Z, &θ軸
13	平臺行程&速度	650mm×450mm，800mm/s
14	運動平臺重復精度	≤±1μm
15	運動平臺定位精度	≤±3μm
軟件控制單元
16	激光加工&平臺控制	Strongsoft, Strongsmart
17	加工文件導入格式	Dxf, Plt, DWG, Gebar
18	CCD視覺定位軟件	AISYS Vision
19	CCD視覺定位精度	≤±3μm
電氣單元
20	PLC控制器	Panasonic
21	真空系統(tǒng)	真空泵
22	除塵&集塵系統(tǒng)	專業(yè)粉塵過濾集成凈化機
自動化單元
23	自動上下料系統(tǒng)	XZ軸+可移動上下料平臺
高級可選單元
24	AOI視覺檢測	8--12寸大片/3min
25	自動裂片功能	8--12寸大片/3min
26	自動清洗分選	8--12寸大片/3min
安裝環(huán)境
27	整機供電&穩(wěn)壓器功率	220V380V,8KW
28	壓縮空氣壓強	≥0.6MPa
29	無塵室等級	10000
30	地面承重	2T/m2
31	保護氮氣	高純氮