產(chǎn)品介紹：

MI4050是具有以下特征的高性能聚焦離子束系統(tǒng)：新型電子光學(xué)系統(tǒng)，可達(dá)到高水準(zhǔn)的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速電壓的分辨率，使得高品質(zhì)TEM樣品制備成為可能
可用于截面加工觀察，高品質(zhì)TEM樣品制備，電路修復(fù)，Vector Scan加工，微納米級微細(xì)圖形及磨具加工，利用沉積功能制作3維構(gòu)造等眾多樣品加工應(yīng)用。

產(chǎn)品特點：

焊線的截面加工
（加工尺寸　寬：95µm　深：55µm， 加工時間　20min）

* 1kV以下為選配

可觀察高分辨率SIM成像（二次電子成像分辨率高達(dá)4nm@30kV）

采用高精度5軸電動機械優(yōu)中心馬達(dá)臺

可在樣品臺移動（包括傾斜）時自動對多個部位進(jìn)行多種加工。

*的操作性能和多種多樣的加工模式

SIM像三維重構(gòu)分析

等間隔截面加工與截面觀察的往復(fù)進(jìn)行，可取的多張截面連續(xù)SIM像，并進(jìn)行3維重構(gòu)。由此可判斷樣品中顆粒，孔洞等3維分布狀態(tài)。

使用多路氣體系統(tǒng)（MGS-II）修復(fù)電路

該系統(tǒng)可對應(yīng)保護(hù)膜材料、配線材料、絕緣膜、加速蝕刻等多種用途，照射多種氣體。

豐富多樣的坐標(biāo)鏈接功能

日立公司的坐標(biāo)鏈接功能豐富多樣，可確定正確的加工位置和大幅縮短時間。

• 1、光鏡圖像與SIM像的鏈接
        雙光標(biāo)功能

• 2、與缺陷檢測設(shè)備建立坐標(biāo)鏈接
        已截斷的晶元或芯片也可與缺陷檢測設(shè)備建立坐標(biāo)鏈接。

• 3、CAD聯(lián)用導(dǎo)航軟件

產(chǎn)品規(guī)格：

選配件：

● 4通道供氣系統(tǒng)

• ● 自動連續(xù)加工軟件

• ● TEM樣品自動加工軟件

• ● 控制器顯微鏡 其他

*：可選擇其他MI系列的各種選配件。