Verifire™ XL

大口徑立式干涉儀

       大口徑、小占地面積 – Verifire XL 是一款一站式干涉儀工作站，可輕松測試直徑達(dá) 300 mm 的平面光學(xué)元器件。

       這款集成的系統(tǒng)易于使用，其重型傾斜平臺可提供可重復(fù)的零件定位，而無需定制夾具。

       占地面積小，內(nèi)置隔振系統(tǒng)，并配有控制器顯示器支架，只占用很小的車間地板空間。

       獨立的大口徑工作站，用于測量直徑達(dá) 12 英寸（300 mm）的平面光學(xué)表面面形，如鏡子、窗片、半導(dǎo)體晶片、晶圓卡盤和密封平面。

主要特點

●   12 英寸（300 mm）口徑，下視式立式設(shè)計，便于零件處理和對準(zhǔn)

●   一站式的獨立系統(tǒng)，包括干涉儀主機(jī)、被動隔振系統(tǒng)、測試件對準(zhǔn)臺和 1/15 波 PVr 透射平面鏡（TF）

●   緊湊的尺寸，限度地減少了對寶貴地面空間的占用

●   集成的隔振和 QPSI™ 技術(shù)允許在生產(chǎn)環(huán)境中進(jìn)行可靠的測量