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          非接觸式膜厚測量儀EA-160

          參考價(jià)面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 公司名稱易泛特技術(shù)(深圳)有限公司
          • 品       牌
          • 型       號
          • 所  在  地深圳市
          • 廠商性質(zhì)其他
          • 更新時(shí)間2024/5/16 11:52:45
          • 訪問次數(shù)102
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          易泛特技術(shù)(深圳)有限公司成立于2016年,有多名行業(yè)專家,致力于為行業(yè)客戶提供業(yè)界的高分辯率、非接觸式3D測量系統(tǒng);Effecttek 3D測量系統(tǒng)采用白光和紅光等納米級分辯率的光學(xué)器件,配合高精度X/Y/Z移動平臺和強(qiáng)大的3D軟件算法處理,幫助用戶解決精密測量難題,包括:線寬膜厚測量、高度差測量、平面度測量、共面度測量、粗糙度測量等,對透明材質(zhì)的多層測量也得心應(yīng)手;產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、5G、3D玻璃、新型醫(yī)療、精密工業(yè)制造等領(lǐng)域,提供從產(chǎn)品研發(fā)、設(shè)計(jì)到加工驗(yàn)收的高精度測量支持。
          x射線熒光鍍層測厚儀
          非接觸式膜厚測量儀EA-160產(chǎn)品描述:◆高速度、高精度測量系統(tǒng)◆160mm×160mm范圍測量◆透明材質(zhì)穿透測量◆測量膜厚、線寬、平面度等◆多程序自由切換
          非接觸式膜厚測量儀EA-160 產(chǎn)品信息

          非接觸式膜厚測量儀 EA-160 





          產(chǎn)品描述:

          ◆高速度、高精度測量系統(tǒng)


          ◆160mm×160mm范圍測量  


          ◆透明材質(zhì)穿透測量  


          ◆測量膜厚、線寬、平面度等 

           

          ◆多程序自由切換,方便靈活



          技術(shù): 

          ◆采用白光共焦技術(shù),分辨率達(dá)到5nm,量程13mm 

          ◆0-160mm運(yùn)動精度達(dá)到微米級,X、Y方向無機(jī)械接觸,采用全閉環(huán)反饋系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)高精度測量 

          ◆高精度、高分辨率CCD系統(tǒng),結(jié)合effecttek軟體算法,支持影像定位輔助系統(tǒng) 


          應(yīng)用: 

          ◆厚膜電路測量


          ◆晶圓涂膠測量 


          ◆LTCC膜厚、線寬測量 


          ◆MEMS測量 


          ◆透明材質(zhì)測量 


          太陽能面板測量 



          設(shè)備技術(shù)參數(shù):

          項(xiàng)     目

          技術(shù)參數(shù)

          外觀尺寸

          950mm*650mm*500mm

          X、Y測量行程

          160mm*160mm

          Z軸可調(diào)行程

          50mm

          有效測量范圍

          130mm*130mm

          掃描最小步距

          1um

          掃描速度

          30mm/s

          測試重復(fù)精度

          20nm(標(biāo)樣)

          電     源

          AC220V±10%,50-60 Hz


          關(guān)鍵詞:CCD
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