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TS系列低壓化學(xué)氣相沉積LPCVD

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱上海德竹芯源科技有限公司
品牌
型號TS系列LPCV
所在地上海
廠商性質(zhì)其他
更新時間2024/5/15 9:15:55
訪問次數(shù)62

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公司介紹主營產(chǎn)品

上海德竹芯源科技有限公司是一家專注于功率器件、光電器件、射頻器件、量子器件、MEMS傳感器領(lǐng)域的設(shè)備銷售、系統(tǒng)集成、設(shè)備國產(chǎn)化的公司。主要為高校、研究所、中試量產(chǎn)線及晶圓FAB廠提供半導(dǎo)體工藝設(shè)備、檢測設(shè)備、封裝設(shè)備、測試設(shè)備。目前公司已成為國內(nèi)少數(shù)幾家專業(yè)提供半導(dǎo)體工藝、檢測、封裝、測試整體解決方案的企業(yè)。公司主要成員為復(fù)旦大學(xué)、上海微系統(tǒng)所等半導(dǎo)體相關(guān)專業(yè)博士，擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)過硬的團(tuán)隊(duì)。能夠出色地完成售前售中、售后的服務(wù)。目前公司已與眾多國際半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等)，致力于根據(jù)用戶的科研方向和量產(chǎn)的器件類別提供相應(yīng)的全套設(shè)備選型和工藝整體解決方案。

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無線電綜合測試儀

產(chǎn)品簡介在線詢價

低壓化學(xué)氣相淀積（LPCVD）是在低壓條件下通過氣體混合的化學(xué)反應(yīng)在硅片表面淀積一層固體膜的工藝。例如：氮化硅薄膜淀積、多晶硅薄膜淀積、非晶硅薄膜淀積、二氧化硅薄膜淀積等。

TS系列低壓化學(xué)氣相沉積LPCVD 產(chǎn)品信息

● 適用于氮化硅工藝 – 標(biāo)準(zhǔn)和低應(yīng)力工藝

● 適用于摻雜、非摻雜多晶硅工藝

● 適用于摻雜、非摻雜 TEOS 工藝

● 適用于摻雜、非摻雜 LTO/ HTO

● 支持 6 ~ 12 寸的晶圓

● 有保證的工藝指標(biāo)

● 可提供所有標(biāo)準(zhǔn)工藝和定制化工藝