更具靈活性及細(xì)節(jié)的聲學(xué)檢測(cè)

功能和優(yōu)勢(shì)

● 采用Sonolytics 2™ ——簡(jiǎn)單、直觀的操作界面——時(shí)間發(fā)現(xiàn)缺陷

● 一次掃描可性采集多達(dá)100幅圖像，有效節(jié)省時(shí)間

● 采用Windows 10操作系統(tǒng)并與現(xiàn)有網(wǎng)絡(luò)兼容

● 易進(jìn)入掃描區(qū)，簡(jiǎn)化加載和卸載過(guò)程

● 可選功能包括水循環(huán)、水加熱、非浸水瀑布式™換能器和數(shù)字圖像分析

D9650™延續(xù)了上一代產(chǎn)品的良好精度和穩(wěn)定性，新增改良版電子軟件平臺(tái)融合了PolyGate™技術(shù)和Sonolytics™技術(shù)。D9650適用于故障分析、工藝開(kāi)發(fā)、材料特性描述及低容量生產(chǎn)環(huán)境。

無(wú)論是故障分析、工藝開(kāi)發(fā)、材料特性表達(dá)、小批量生產(chǎn)還是其他實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)，D9650均可提供豐富的功能。D9650可在反射和/或透射模式下工作。

D9650不斷擁有的SONOSCAN創(chuàng)新技術(shù)，兼而采用人性化設(shè)計(jì)。通過(guò)采用符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)，提供舒適方便的使用體驗(yàn)。通過(guò)的應(yīng)用程序Sonolytics 2™軟件和直觀的操作界面菜單增進(jìn)效益，同時(shí)節(jié)省操作時(shí)間。

D9650是新一代C-SAM超聲波掃描顯微鏡，可提供一系列技術(shù)、符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)和SONOSCAN開(kāi)發(fā)的功能。

D9650產(chǎn)品規(guī)格

規(guī)格

采用PolyGate™同時(shí)捕獲100個(gè)深度(門(mén)棧)，同時(shí)提供獨(dú)立增益、彩色映射和波形分析。

時(shí)域成像TDI™包括：

· A掃描，顯示換能器信號(hào)

· B掃描，提供橫截面圖像

· C掃描，提供二維平面圖像

· 批量掃描，顯示材料內(nèi)部缺陷

· 多重掃描，同時(shí)采集不同層級(jí)的圖像

· 表面掃描，顯示表面缺陷

· 界面掃描，突顯材料間變化

· 回波丟失(LoBE)，形成上述缺陷的陰影

· SONOSCAN的Q-BAM™，提供樣品的聚焦橫截面圖

· 3D-TOF，使用基于時(shí)間的分析創(chuàng)建深度或厚度圖像

· 可選THRU-Scan™顯示材料連續(xù)性和脫層或空洞

· 可選同時(shí)THRU-scan和反射STaR，通過(guò)同時(shí)采集THRU-Scan和所有時(shí)域圖像以節(jié)省時(shí)間

波形分析模式

· 振幅測(cè)量峰間信號(hào)和極性

· 集成模式™可以突出衰減的信號(hào)

· 剖面分析從前表面到目標(biāo)界面的距離

· 時(shí)差計(jì)算兩個(gè)界面之間的距離

· ASF™（聲學(xué)表面平整度）測(cè)量表面的翹曲變形。 US 8,794,072 B2

· 通過(guò)聲學(xué)阻抗極性檢測(cè)器提供極性（如相位）和振幅信息 US 4,866,986

高級(jí)觸發(fā)工具

· 正、負(fù)和±交叉

· 自動(dòng)前界面回聲(FIE)模式，通過(guò)自動(dòng)捕捉個(gè)反射界面節(jié)省時(shí)間

· 采用動(dòng)態(tài)觸發(fā)模式補(bǔ)償內(nèi)部厚度變化

· 主沖擊信號(hào)模式使高級(jí)用戶可以利用高級(jí)觸發(fā)模式功能來(lái)查看整個(gè)A掃描信號(hào)。門(mén)限觸發(fā)模式用于應(yīng)對(duì)更具挑戰(zhàn)性的應(yīng)用

AutoScan可以通過(guò)預(yù)先編程的位置、焦點(diǎn)、掃描尺寸和分析指令自動(dòng)檢測(cè)和分析托盤(pán)上各部分組件的排列。

通過(guò)采用Multi-Focus-PolyGate快速發(fā)現(xiàn)合適的設(shè)置，提供一系列圖像以備選擇。

系統(tǒng)

機(jī)械

掃描區(qū)域：314 mm x 314 mm

X-Y軸精確度：0.5微米

馬達(dá)：X軸高速線性；Y軸步進(jìn)器；Z軸步進(jìn)器

電氣性能

脈沖發(fā)生器/接收器：優(yōu)化用于換能器；5MHz-230MHz；95 dB增益0.5 dB步進(jìn)

數(shù)字轉(zhuǎn)換器：1 8位LSNB1時(shí)，1 GSPS

數(shù)字門(mén)限：1 ns至10,000 ns

操作系統(tǒng)：Windows 10 Sonolytics 2™

系統(tǒng)設(shè)備要求

通用電壓：90V交流至250V交流50/60Hz；單相15安電路120V交流

尺寸：寬度：1892 mm；深度：737 mm；高度1588 mm

重量：最小420千克，500千克

給排水：注水：?"內(nèi)徑軟管；填壓：150千帕±50千帕；排水：?"內(nèi)徑軟管；排水臺(tái)：?"內(nèi)徑軟管

可選功能和設(shè)備

· 水管理模塊可提供自動(dòng)填充注水、排水、再循環(huán)、過(guò)濾和溢流保護(hù)功能

· 瀑布式換能器提供非浸泡掃描

· 熱水模塊用于降低水的衰減頻率

· 數(shù)字圖像分析(DIA)包括區(qū)域部分分析（包括Mil-Std-883、Method 2030）、圖像優(yōu)化、直方圖、FFT、多區(qū)域分析和厚度計(jì)算，用于量化聲學(xué)數(shù)據(jù)

· VRM™（虛擬重新掃描模塊）儲(chǔ)存99% A掃描數(shù)據(jù)，能夠?qū)Σ豢捎玫牟考鲞M(jìn)一步分析

· 通用晶圓夾具

· AIMM™（聲學(xué)阻抗測(cè)量模塊）用于測(cè)量材料的聲學(xué)阻抗

· 厚度測(cè)量模塊

· 光頻譜分析模塊

· HRU-Scan掃描臂

· 反射和投射同時(shí)成像