應(yīng)用領(lǐng)域: 廣泛應(yīng)用于元素分析、多相研究、化合物結(jié)構(gòu)鑒定、富集法微量元素分析、元素價態(tài)鑒定。此外在對氧化、腐蝕、摩擦、潤滑、燃燒、粘接、催化、包覆等微觀機(jī)理研究；污染化學(xué)、塵埃粒子研究等的環(huán)保測定；分子生物化學(xué)以及三維剖析如界面及過渡層的研究等方面有所應(yīng)用。

性能特點：

1. 可以分析除H和He以外的所有元素，對所有元素的靈敏度具有相同的數(shù)量級；

2. 相鄰元素的同種能級的譜線相隔較遠(yuǎn)，相互干擾較少，元素定性的標(biāo)識性強(qiáng)；

3. 能夠觀測化學(xué)位移；

4. 既可測定元素的相對濃度，又可測定相同元素的不同氧化態(tài)的相對濃度；

5. 樣品分析的深度約2 nm，信號來自表面幾個原子層，樣品量可少至10-8g，**靈敏度可達(dá)10-18g。