小型等離子清洗機的工作原理是在真空狀態(tài)下,利用高壓交變電場將工藝腔室內(nèi)的氧、氬、氨等工藝氣體震蕩形成具有高能量和高反應(yīng)活性的等離子體,活性等離子體與微顆粒污染物或有機污染物發(fā)生物理轟擊或化學(xué)反應(yīng),使被清洗表面物質(zhì)變成粒子和揮發(fā)性氣態(tài)物質(zhì),然后隨工作氣流經(jīng)過抽真空排出,從而達到清潔、活化表面的目的。
 

小型等離子清洗機產(chǎn)品優(yōu)勢：
 

　●小型等離子清洗機清洗效果好，清洗效率高，應(yīng)用范圍廣。

　●觸摸屏用戶界面，可儲存多條用戶程序，全自動運行

　●不銹鋼腔體，密封性

　●可支持 13.56 MHz 射頻發(fā)生器，自動阻抗匹配調(diào)諧

　●支持各種工藝氣體，包括氬氣，氧，氫，氦和氟化氣體

　●對清洗樣品，沒有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求。

　●等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達到常溫處理。

　●高效的特制電極，是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。

　●特制電極和托盤結(jié)構(gòu)，可保證樣品可得到全面有效的清洗。

　●由于功耗低且無需特殊處理氣體，該裝置是提高表面潤濕性和附著力的非常經(jīng)濟高效的解決方案。
 

小型等離子清洗機用途：
 

　●高分子材料表面改性粘合性、親水性能提高。

　●晶圓光刻膠灰化、剝離和除渣。硅晶片的有機污染物去除

　●用于 PDMS 鍵合、載玻片、芯片實驗室和其他微流體應(yīng)用的等離子處理

　●材料表面改性(金屬、聚合物、薄膜、陶瓷等)。

　●材料表面有機污染物去除。

　●清潔TEM和SEM樣品，去除烴污染

　●增強環(huán)氧樹脂/膠水粘合強度

　●用于清潔光學(xué)、激光、通訊用玻璃和光纖頭

　●改善MEMS微流體器件的潤濕性

　●隱形眼鏡、科研植入物等類型科研的表面處理和激活

等離子清洗技術(shù)廣泛應(yīng)用在電子行業(yè)（主要是半導(dǎo)體和光電工業(yè)）、橡膠、塑料、汽車及國防等領(lǐng)域。等離子清洗技術(shù)不可比擬的優(yōu)勢在于：一、綠色、環(huán)保、無污染。