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          1400℃真空/氣氛管式爐CVD系統(tǒng)(CVD-TF)

          參考價面議
          具體成交價以合同協(xié)議為準
          • 公司名稱天津市泰斯特儀器有限公司
          • 品       牌
          • 型       號CVD-TF14P4
          • 所  在  地
          • 廠商性質(zhì)其他
          • 更新時間2024/2/8 7:34:56
          • 訪問次數(shù)140
          產(chǎn)品標簽:

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          天津市泰斯特儀器有限公司,專注實驗室儀器領(lǐng)域,用產(chǎn)品品質(zhì)凝聚泰斯特品牌力量。泰斯特人20年堅持科技創(chuàng)新,20年專注實驗儀器領(lǐng)域,用創(chuàng)新科技成就客戶成就自我。

          泰斯特的價值觀:成就客戶,創(chuàng)新為要,誠信負責。

          泰斯特創(chuàng)立于1999年,是國內(nèi)的實驗室儀器設(shè)備研發(fā)制造商。致力于提供的實驗室設(shè)備一站式服務(wù),幫助構(gòu)建科技互聯(lián)的智能實驗室世界。目前泰斯*300多名工作者,公司業(yè)務(wù)遍及國內(nèi)各個省市,與國內(nèi)百余家國家重點實驗室深度合作。

          泰斯特在實驗室儀器領(lǐng)域為客戶提供有競爭力、安全可信賴的產(chǎn)品、解決方案和服務(wù),持續(xù)為客戶創(chuàng)造科技價值。泰斯特堅持以“創(chuàng)新科技”為公司發(fā)展宗旨,加大基礎(chǔ)研發(fā)投入,厚積薄發(fā),推動實驗室設(shè)備的科技進步。          

          此CVD系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實驗。 優(yōu)點 爐膛采用多晶莫來纖維真空吸附制成,溫場均勻節(jié)能50%以上自主研發(fā)的空氣導(dǎo)流隔熱技術(shù)保證箱內(nèi)各部件的使用壽命及恒溫效果自動斷電、超溫保護功能、漏電保護功能,以確保使用的安全性…… 安全性 過升報警、菜單鎖定、過升防止、復(fù)電延時。采用單向閥技術(shù),使氣體流量在可控......
          1400℃真空/氣氛管式爐CVD系統(tǒng)(CVD-TF) 產(chǎn)品信息

          提供具有真空、可控氣氛及高溫的實驗環(huán)境

          此款CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實驗。

          產(chǎn)品性能:

          1、爐膛采用多晶莫來纖維真空吸附制成,溫場均勻節(jié)能50%以上

          2、空氣導(dǎo)流隔熱技術(shù)保證箱內(nèi)各部件的使用壽命及恒溫效果

          3、啟動電爐,排溫風機同時自動運行,試驗結(jié)束后,排溫風機將繼續(xù)運行,直至爐體溫度低于60℃,排溫風機自行停止,有效保護了爐體表面

          4、自動斷電、超溫保護功能、漏電保護功能,以確保使用的安全性

          5、電路采用連續(xù)加熱輸出方式,雙回路供電,強弱電單獨走線提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性

          6、加熱模塊采用直流信號調(diào)節(jié)輸出功率,避免了感應(yīng)電對控制信號的干擾

          7、自動補償由于溫度或老化對硅碳棒阻值變化帶來的控溫影響,避免人為調(diào)節(jié)的不準確性和危險性

          8、采用數(shù)顯流量顯示儀,配合質(zhì)量流量控制器,采集數(shù)據(jù)并控制流量。具有控制精度高,重復(fù)性好,相應(yīng)速度快,穩(wěn)定可靠等特點。(氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng))

          9、自動控制與手動控制切換功能,自動控制模式能通過設(shè)定值自動開啟/關(guān)閉真空泵,使容器內(nèi)保持在一定的真空壓力范圍內(nèi)。手動控制模式使用用戶通過真空泵開啟/關(guān)閉按鈕直接操作真空泵。以滿足不同實驗的需要。(中真空控制系統(tǒng))

          10電磁閥緩啟動技術(shù),使電磁閥在真空泵開啟10秒鐘后打開,使爐管內(nèi)系統(tǒng)壓力保持準確,也保證了廢氣不會返回到爐管系統(tǒng)影響實驗效果(中真空控制系統(tǒng))

          安全性:

          1、過升報警、菜單鎖定、過升防止、復(fù)電延時。

          2、采用單向閥技術(shù),使氣體流量在可控壓力范圍內(nèi)控制,保證安全。

          3、采用混氣罐裝置,使氣體可以在充分混合后導(dǎo)入工作室內(nèi),確保不會泄露。


          ■ 技術(shù)參數(shù)
          型號單溫區(qū)CVD-TF14P40CVD-TF14P50CVD-TF14P60CVD-TF14P80

          單溫區(qū)CVD-TF14T40CVD-TF14T50CVD-TF14T60CVD-TF14T80
          性能使用溫度范圍300~1400
          溫度分辨率1℃
          控溫精度± 1
          升溫速率0~20℃/min
          加熱區(qū)長度200mm400mm
          恒溫區(qū)長度70mm140mm
          真空度-0.1MPa
          空爐升溫時間15min

          配置爐管時升溫速度500℃以下≤5/min;500-100010/min;1000-12005/min;1000-14002/min
          構(gòu)成外裝冷軋鋼板,表面耐藥品性涂裝
          爐膛體多晶莫來石纖維
          爐膛尺寸360*350*350mm560*350*350mm
          爐管剛玉管
          爐管尺寸Φ40/34*1000Φ50/44*1000Φ60/50*1000Φ80/70*1000
          加熱器硅碳棒
          加熱功率3KW5KW
          斷熱層雙層強制風導(dǎo)流
          打開方式
          控制 器控制器P:進口程序控溫數(shù)碼顯示; T:7寸彩色觸摸屏程序控溫
          控制方式使用微型電腦PID控制
          設(shè)定方式P:輕觸五按鍵動作、數(shù)顯設(shè)定; T:手指觸摸輕點設(shè)定
          顯示方式P:雙行LED數(shù)字顯示; T:彩色液晶屏顯示
          定時0~999.9小時
          運行功能定值運行、程序運行
          程序模式P:程序運行、4條曲線、共40步; T:50步 可調(diào)用儲存程序
          傳感器S型熱電偶
          附屬功能P:校正功能; T:校正功能、實時曲線記錄、U盤數(shù)據(jù)導(dǎo)出
          安全裝置過流漏電保護開關(guān)
          質(zhì)量流量控制系統(tǒng)氣路數(shù)量3路(可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量)
          流量范圍0-0500sccm(標準毫升/分,可選配)氮氣標準
          精度±1%F.S
          響應(yīng)時間≤4s
          工作溫度(流量計)5-45
          工作壓力進氣壓力0.05-0.3MPa(表壓力)
          系統(tǒng)連接方式采用KF快速連接波紋管、高真空手動擋板閥及數(shù)顯真空測量儀
          中真空控制系統(tǒng)系統(tǒng)真空范圍10-100Pa
          真空泵雙級機械泵理論極限真空度3x10-1Pa,抽氣速率4L/s,出氣口配有油污過濾器,額定電壓200V,功率0.55Kw
          CVD系統(tǒng)配置1400度真空管式爐 多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng) 真空系統(tǒng)


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