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RTP-6經(jīng)濟(jì)型快速退火爐

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱凱戈納斯儀器商貿(mào)（上海）有限公司
品牌
型號RTP-6
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2023/11/14 8:15:12
訪問次數(shù)145

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公司介紹主營產(chǎn)品

凱戈納斯儀器商貿(mào)(上海)有限公司是由瑞典Hot Disk有限公司注資成立的，是一家朝氣蓬勃的儀器商貿(mào)公司，在市場上享有良好的聲譽(yù)。公司成立近二十年來，致力于成為熱物性設(shè)備的系統(tǒng)供應(yīng)商，主要業(yè)務(wù)是在中國和一些鄰國開發(fā)、制造并銷售瑞典Hot Disk品牌熱常數(shù)分析儀。目前也代理日本ai-phase公司測試薄膜材料熱擴(kuò)散系數(shù)的設(shè)備，以及加拿大Thermtest公司所的傳統(tǒng)平板熱流計(jì)法、專線法和熱帶法導(dǎo)熱儀，等世界上等的*熱物性分析儀器。多年來，公司也是以色列Nanonics公司近場光學(xué)顯微鏡的中國國內(nèi)-家供應(yīng)商。近，我們增加了日本Advance Riko公司紅外金面反射爐、日本SUGA公司SPS (放電等離子燒結(jié)爐)設(shè)備的國內(nèi)-家代理。

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RTP-6經(jīng)濟(jì)型快速退火爐

RTP-6經(jīng)濟(jì)型快速退火爐產(chǎn)品信息

RTP-6經(jīng)濟(jì)型快速退火爐

RTP-6升溫速率可達(dá)80℃/s。

RTP-6采用拋物線形的黃金反射面，可均勻熱處理6英寸的圓晶。該系統(tǒng)可進(jìn)行快速的熱處理，適合熱處理工藝的研究與開發(fā)?？捎糜诎雽?dǎo)體工藝中硅化物的形成以及半導(dǎo)體化合物的過程退火。

應(yīng)用：

1. 離子注入后的活化退火
2. 沉積氧化膜的退火
3. 歐姆電極合金化
4. PZT，SBT和其它鐵電薄膜的結(jié)晶退火
5. 硅化物及自對準(zhǔn)硅化物的生成
6. 發(fā)光元件，半導(dǎo)體激光基板的熱處理
7. 超淺結(jié)的生成
8. 鐵電電容器沉積
9. 柵氧化膜的生成

	特點(diǎn)：
	快速熱處理
	腔體采用水冷，可進(jìn)行快速降溫
	真空置換氣氛后，可采用流動氣氛進(jìn)行熱處理
	溫度程序設(shè)置和外部信號輸入可以通過腦輕松控制
	加熱過程的溫度數(shù)據(jù)也可以顯示在電腦上
	石英保護(hù)板（可選）可以安裝在腔室內(nèi)以防止污染
	配備了各種安全措施
	九個獨(dú)立的加熱區(qū)可實(shí)現(xiàn)不同尺寸樣品均勻的溫度控制

組成：

1. 紅外金面反射爐
2. 加熱腔
3. 可編程溫控器
4. 9個獨(dú)立的加熱區(qū)
5. 跨度變換單元
6. 氣體管路系統(tǒng)
7. 熱氣排出系統(tǒng)
8. 爐體框架，開關(guān)板
9. 高溫計(jì)（可選）
10. 水冷機(jī)（可選）
11. 真空泵（可選）