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臥式甩干機SA-SV702-C

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具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱首昂光電（上海）有限公司
品牌
型號
所在地上海市
廠商性質(zhì)其他
更新時間2023/10/1 8:44:51
訪問次數(shù)110

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首昂光電(上海)有限公司十五年深耕激光設備研發(fā)，十五年扎根半導體行業(yè)應用，造就了首昂光電深厚的技術沉淀以及的行業(yè)視角，我們一直致力于把更好的激光與自動化技術帶入半導體行業(yè)。作為批將激光應用于二極管、三極管及可控硅晶圓劃切的者，公司技術團隊正積極將激光技術應用到更寬廣的半導體領域，助力中國半導體行業(yè)走向與自主可控。公司已儲備大量基礎加工技術，正穩(wěn)步推進一系列擁有自主知識產(chǎn)權的新工藝、新應用，在多個關鍵制程設備上達到行業(yè)水平，實現(xiàn)國產(chǎn)化替代。

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晶圓激光切割機

產(chǎn)品簡介在線詢價

臥式甩干機SA-SV702-C為本公司針對（含）6”以下制程之需求，使用自制電機，參照美規(guī)設計之全新旋干機，采垂直式放置晶片，并可控制0.3微塵顆粒量20粒，其主要三大功能為清洗，高速脫水，低速烘干

臥式甩干機SA-SV702-C 產(chǎn)品信息

臥式甩干機SA-SV702-C

為本公司針對（含）6”以下制程之需求，使用自制電機，參照美規(guī)設計之全新旋干機，采垂直式放置晶片，并可控制0.3微塵顆粒量20粒，其主要三大功能為清洗，高速脫水，低速烘干。

1、設備用于6英寸硅片甩干工藝。

2、每批處理晶圓數(shù)量為50，25片/腔體。

3、甩干機為上下雙工藝腔體設計，腔室內(nèi)采用不銹鋼。

4、轉(zhuǎn)子的動平衡為片盒中的硅片從0～25片。

5、轉(zhuǎn)速1800-2000轉(zhuǎn)/min。