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          凈化顯影機(jī)CPN-PSD-100/OP型

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          • 公司名稱中普尼實(shí)業(yè)集團(tuán)(海南)有限公司
          • 品       牌
          • 型       號(hào)
          • 所  在  地
          • 廠商性質(zhì)其他
          • 更新時(shí)間2023/6/19 20:12:01
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          中普尼(CHINAPIONEER,簡(jiǎn)稱 CPN 公司)是一家一直專注于微電子、微細(xì)加工及半導(dǎo)體工藝等領(lǐng)域的技術(shù)研發(fā)、生產(chǎn)制造及營(yíng)銷服務(wù)為一體的集團(tuán)企業(yè)。公司主要產(chǎn)品有勻膠機(jī)(Spin Coater)、烘膠機(jī)(Hot Plate)、顯影機(jī)(Developer)、光刻機(jī)(曝光機(jī)-LithographySystem )、紫外線固化機(jī)(UV)、磁控濺射鍍膜設(shè)備、離子束濺射鍍膜設(shè)備、化學(xué)氣相淀積設(shè)備(PECVD)、干法刻蝕設(shè)備(RIE,ICP,IBE)、非標(biāo)真空設(shè)備等。其廣泛應(yīng)用于微電子、光電子、通訊、微機(jī)械、新能源等領(lǐng)域,適用于大專院校、科研機(jī)構(gòu)和相關(guān)行業(yè)生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行教學(xué)實(shí)驗(yàn)、科學(xué)研究和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)與批量生產(chǎn),為光電半導(dǎo)體化工實(shí)驗(yàn)室解決方案供應(yīng)商。 作為實(shí)驗(yàn)室與半導(dǎo)體市場(chǎng)領(lǐng)域的,我們CPN 公司的產(chǎn)品一直以“外貿(mào)形式”出現(xiàn)在國(guó)際市場(chǎng)上,現(xiàn)近年來(lái)隨著中國(guó)國(guó)家政府對(duì)內(nèi)外改革開(kāi)放地不斷深入,加之國(guó)際形勢(shì)的變化與中國(guó)國(guó)家政策的調(diào)整,極大地促使了中國(guó)大陸區(qū)域電子、半導(dǎo)體等行業(yè)的發(fā)展,其市場(chǎng)領(lǐng)域的飛速發(fā)展與日趨成熟已成為發(fā)展最迅猛的區(qū)域市場(chǎng)之一.因此,CPN 公司早已逐漸在中國(guó)大陸區(qū)域服務(wù),且服務(wù)領(lǐng)域已迅速遍布于中國(guó)大陸區(qū)域二十多個(gè)省份,與此同時(shí)亦繼續(xù)維持拓展 CPN 公司在美洲、歐洲等地區(qū)的產(chǎn)品營(yíng)銷與服務(wù),幫助尊貴的客戶和優(yōu)質(zhì)的合作伙伴取得成功. 秉承“技術(shù)進(jìn)步為社會(huì)發(fā)展做貢獻(xiàn)”的宗旨,CPN 公司廣泛的與國(guó)外的科研機(jī)構(gòu)進(jìn)行技術(shù)交流,始終遵循“以人為本”的設(shè)計(jì)理念完善產(chǎn)品設(shè)計(jì),致力于引進(jìn)吸收歐洲技術(shù),使 CPN 公司的產(chǎn)品制造工藝處于行業(yè)的水平.CPN 公司一直沿用國(guó)際 ISO9001 質(zhì)量管理體系及 ISO14000 國(guó)際環(huán)境管理體系,高標(biāo)準(zhǔn)、嚴(yán)要求地對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量進(jìn)行有效監(jiān)控和科學(xué)管理,其產(chǎn)品已通過(guò)CE 認(rèn)證。至今為止,CPN 公司已在北京、上海、江蘇、成都、深圳等地建立了牢固的戰(zhàn)略合作伙伴關(guān)系 ,以滿足公司業(yè)務(wù)不斷拓展與客戶需求,為范圍內(nèi)的尊貴客戶提供的技術(shù)產(chǎn)品與優(yōu)質(zhì)服務(wù)。 我們的成功源于----我們不僅僅幫助我們尊貴的客戶提供專業(yè)的機(jī)械儀器設(shè)備,更是幫助客戶提供專業(yè)的解決問(wèn)題的技術(shù)手段與方案建議;呈現(xiàn)的不僅僅只是優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與的技術(shù),更多的是與朋友們分享知識(shí)與友誼,成功與喜悅!在中國(guó)實(shí)驗(yàn)室技術(shù)突飛猛進(jìn)的今天,CPN 公司愿和您一起攜手共創(chuàng)世界的科研實(shí)驗(yàn)場(chǎng)所,為您的實(shí)驗(yàn)室保駕護(hù)航!為此,我們矢志努力并將永遠(yuǎn)保持我們的地位!
          CPN-PSD-100/OP型凈化顯影機(jī)亦是CPN-PS系列產(chǎn)品的基礎(chǔ)品種之一,是半導(dǎo)體器件制造過(guò)程中的專用工藝設(shè)備,采用*的單片微型機(jī)程序自動(dòng)控制,實(shí)現(xiàn)噴霧顯影工藝,電路清晰完整,由于控制系統(tǒng)穩(wěn)定,在進(jìn)行工藝中不飛片,顯影速度快(30S)和節(jié)省顯影液,主要用于科研和生產(chǎn)單位大規(guī)模集成電路和其他半導(dǎo)體器件的光刻工藝中作顯影之用
          凈化顯影機(jī)CPN-PSD-100/OP型 產(chǎn)品信息

          CPN-PSD-100/OP型凈化顯影機(jī)CPN-PS系列產(chǎn)品的基礎(chǔ)品種之一,是半導(dǎo)體器件制造過(guò)程中的專用工藝設(shè)備,采用*的單片微型機(jī)程序自動(dòng)控制,實(shí)現(xiàn)噴霧顯影工藝,電路清晰完整,由于控制系統(tǒng)穩(wěn)定,在進(jìn)行工藝中不飛片,顯影速度快(30S)和節(jié)省顯影液,主要用于科研和生產(chǎn)單位大規(guī)模集成電路和其他半導(dǎo)體器件的光刻工藝中作顯影之用。

          一、本機(jī)顯影工藝采用了*的噴霧方式,可根據(jù)工藝要求噴霧狀態(tài)電機(jī)的轉(zhuǎn)數(shù)程序時(shí)間的工藝參數(shù)都可在很寬的數(shù)值范圍內(nèi)調(diào)整。其程序?yàn)檠訒r(shí)吸片-顯影-漂洗-干燥-延時(shí)復(fù)位。

          二、采用噴霧顯影工藝后電路圖形清晰完整,特別是對(duì)較細(xì)線條電路采用此工藝可得到很高的效果。

          三、本設(shè)備除能顯影工藝外,亦可進(jìn)行涂膠工藝.

           


          主要技術(shù)指標(biāo)                                             

          1、顯影工位:1個(gè)工位                                         

          2、程序時(shí)間:顯影 1-99999

          3、漂洗 1-99999秒                                       

          4、干燥 1-99999                                                    

          5、旋轉(zhuǎn)器轉(zhuǎn)數(shù):500-8000轉(zhuǎn)/分(連續(xù)可調(diào))                                         

          6、硅片直徑:Φ1—Φ100mm                                                                  

          7、凈化效果:100級(jí)(美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn))                                                 

          8、操作區(qū)風(fēng)速:0.3-0.5/秒  

          9、氣流狀態(tài):垂直層流

          10、外形尺寸:1620mm(高)*650(寬)*800

          11、整機(jī)包裝重量:150KG

          12、氮?dú)庠矗?/span>N2管道或鋼瓶(進(jìn)氣壓力0.2-0.3MP/cm2

           


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