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          12寸晶圓顯影機(jī)

          參考價(jià)面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 公司名稱(chēng)華儀行(北京)科技有限公司
          • 品       牌
          • 型       號(hào)
          • 所  在  地
          • 廠商性質(zhì)其他
          • 更新時(shí)間2023/6/19 9:51:55
          • 訪問(wèn)次數(shù)228
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          UNIXX DB30 型晶圓顯影機(jī)是一款針對(duì)12寸及以下尺寸晶圓的半自動(dòng)系統(tǒng),系統(tǒng)可集成顯影,清洗,干燥等模塊,同時(shí)可用于方片顯影,尺寸230mm*230mm。更新時(shí)間:2022-11-25 17:19:14主要參數(shù):{dede:field.main/}發(fā)動(dòng)機(jī):{dede:field.engine/}操控安全:{dede:field.safe/}燈光:{dede:field.light/}外觀:{dede:field.style/}音響系統(tǒng):{dede:field.audio/}底盤(pán):{dede:field.bottom/}座椅:{dede:field.seat/}
          12寸晶圓顯影機(jī) 產(chǎn)品信息

          產(chǎn)品簡(jiǎn)介

           

          UNIXX DB30 型晶圓顯影機(jī)是一款針對(duì)12寸及以下尺寸晶圓的半自動(dòng)系統(tǒng),系統(tǒng)可集成顯影,清洗,干燥等模塊,同時(shí)可用于方片顯影,尺寸230mm*230mm。

           

          n產(chǎn)品特色

           

          ÷ 適用*的顯影、清洗和干燥工藝

          ÷ 圓形晶圓可達(dá) ?300 

          ÷ 方形襯底可達(dá) 230 x 230 

          ÷ 防濺環(huán)自動(dòng)升降

          ÷ 具有 BSR 背部清洗功能

          ÷ 配置低接觸離心力卡盤(pán)

          ÷ 可提供全自動(dòng)系統(tǒng)

          ÷ 手動(dòng)裝/

          ÷ 適用所有半導(dǎo)體材料,如硅襯底、玻璃襯底、陶瓷襯底

          ÷  1x 輸送臂,最多 6 條管路

          ÷ 不同類(lèi)型的噴嘴

          ÷ 通過(guò)壓力罐或泵系統(tǒng)供應(yīng)化學(xué)液

          ÷ 具有擺動(dòng)效果的旋轉(zhuǎn)電機(jī)

          ÷ 不同化學(xué)液分離排放(1、 3 向分離)

           

          n技術(shù)數(shù)據(jù)

           

          ÷ 襯底尺寸可達(dá) ?200 mm   150 x 150 mm 

          ÷ 電機(jī)轉(zhuǎn)速 10.000 rpm,步長(zhǎng) 1 rpm

          ÷ 電機(jī)加速 40.000 rpm/sec,步長(zhǎng) 1 rpm/sec 

          ÷  步進(jìn)時(shí)間: 1  999.9 秒,步長(zhǎng) 0.1 

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