智能制造網(wǎng)APP
智能制造網(wǎng)手機(jī)站
智能制造網(wǎng)小程序
智能制造網(wǎng)官微
智能制造網(wǎng)服務(wù)號
- 產(chǎn)品詳細(xì)介紹
- 詳細(xì)參數(shù)
| 內(nèi)容 | 規(guī)格 | |
| A.一般規(guī)格 | ||
| 曝光系統(tǒng) | 光源：鹵化金屬燈，輸出功率5KW，雙燈 | |
| 均勻度：≥85%（min/max) | ||
| 強(qiáng)度：40mw/cm² | ||
| 有效曝光面積：546*622mm | ||
| Panel規(guī)格 | 尺寸：254*304.8mm至558.8*635mm(10''*12"至22"*25") | |
| 厚度：0.05mm(不含銅)至2.0mm | ||
| 玻璃尺寸 | 上：L800*W718*8t 下：L716*W628*8t | |
| PCB靠操作面中間對位 | ||
| 曝光作業(yè) | 雙面曝光/內(nèi)層板用底片CCD自動(dòng)對位系統(tǒng)，每片確認(rèn)。對準(zhǔn)精度±10um | |
| 底片尺寸 | 24"*27" Cycle Time:機(jī)械動(dòng)作12秒+真空延遲+曝光時(shí)間 | |
| 密合模式 | 真空密合，真空度-300~-500mmHg(附表顯示) | |
| 操作方式 | 操作系統(tǒng)：PC系統(tǒng)+PLC+人機(jī)界面 | |
| 機(jī)臺尺寸 | 外部尺寸：2962L*2622W*2040H mm | |
| 輸送面高度：1040mm+50mm(卸下輪子高度可降980) | ||
| 機(jī)臺重量：3000Kg | ||
| 公用系統(tǒng) | 電力：AC380V 3φ 50/60Hz 24KVA | |
| 氣壓源：5~6Kg/cm2 | ||
| 冰水系統(tǒng)：7~11℃，60-80L/min | ||
| B.系統(tǒng)架構(gòu) | ||
| Panel傳送系統(tǒng) | 進(jìn)出料傳動(dòng)：滾輪帶動(dòng)PCB | |
| 進(jìn)料定位：二段式靠邊定位，前緣利用滾輪慢速傳動(dòng)定位， | ||
| 側(cè)邊以伺服馬達(dá)靠邊定位 | ||
| 曝光室進(jìn)出移載：配合線性滑軌，以伺服馬達(dá)帶動(dòng)移載機(jī)構(gòu) | ||
| 移載機(jī)取置：氣缸帶動(dòng)取置架上下，真空吸盤組依板寬手動(dòng)調(diào)整 | ||
| 曝光臺框 | 玻璃對玻璃方式采用高UV透光率玻璃 | |
| 上臺框由伺服馬達(dá)帶動(dòng)開關(guān)，上下框間由四支定位銷定位 | ||
| 底片吸附在臺面真空槽，PCB以下臺框真空吸附 | ||
| 靜電消除 | 于進(jìn)料段裝置上下靜電消除棒 | |
| 冷卻 | 燈源冷卻：氣冷，內(nèi)循環(huán)直接氣冷；燈管壽命保固800小時(shí) | |
| 燈室冷卻：燈頭部份為空氣冷卻，燈管為間接氣冷 | ||
| 曝光室冷卻：氣冷，抽取曝光室內(nèi)空氣，經(jīng)HEPA過濾后，再經(jīng)冰水排系統(tǒng)冷卻吹入曝光室內(nèi)，保持曝光室內(nèi)溫度，并控制臺面溫度 | ||
| 臺面溫度22℃±2℃ | ||
| 潔凈控制 | 機(jī)臺使用99.97%~99.99%HEPA Filter 客戶潔凈室等級需求：Class 10000 | |
| UV光源監(jiān)控 | 光源保護(hù)：UV點(diǎn)燈/熄燈/重點(diǎn)燈保護(hù) | |
| 功率控制：強(qiáng)弱燈切換 | ||
| 狀態(tài)監(jiān)視：內(nèi)建電壓、員流、功率及UV強(qiáng)度感測顯示 | ||
| 遮光器：旋轉(zhuǎn)開啟，裝置于燈室內(nèi)，由馬達(dá)帶動(dòng) | ||
| 曝光監(jiān)控：內(nèi)建UV能量積算顯示 | ||
| KW數(shù)切換 | 2KW、5KW切換 | |
| 對位方式 | 4靶標(biāo)CCD影像對位 | |
| 底片固定 | 臺面玻璃溝槽吸真空 | |
| 調(diào)整機(jī)構(gòu) | 微步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)上臺框微調(diào)機(jī)構(gòu) | |
| 控制方式 | 自動(dòng)對位及觸控式熒幕PC+PLC | |
| 視覺光源 | LED式CCD背光組 | |
| 底片對位精度 | ±10μm內(nèi)(不含漲縮) | |
| 備注 | 外觀為不銹鋼 | |
