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全自動(dòng)涂膠顯影機(jī)

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參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱芯米（廈門）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
品牌
型號(hào)
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2023/6/17 13:46:21
訪問(wèn)次數(shù)597

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

源于中國(guó)臺(tái)灣團(tuán)隊(duì)25年經(jīng)驗(yàn)的專業(yè)黃光微影制程工藝及設(shè)備研發(fā)，結(jié)合、中國(guó)臺(tái)灣機(jī)構(gòu)、PLC電控、PC影像處理等各方面精英所組成，擁有8項(xiàng)國(guó)際發(fā)明及27項(xiàng)實(shí)用新型及外觀設(shè)計(jì)。專營(yíng)產(chǎn)品晶元制造黃光制程Coater and Developer（涂布顯影設(shè)備）系列，包括溫濕度控制機(jī)、供酸系統(tǒng)、光阻PUMP等配套設(shè)備，及國(guó)外機(jī)型的零件開發(fā)、工藝升級(jí)、設(shè)備改造服務(wù)等。

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全自動(dòng)涂膠顯影機(jī) XMTA-800A

全自動(dòng)涂膠顯影機(jī) 產(chǎn)品信息

基片尺寸

ψ50mm～ψ200mm

Cassette 晶舟

2-4個(gè)晶舟

Coater Unit 涂膠單元

1、PR類型：正膠/ 負(fù)膠；2、光刻膠噴頭 2 ~ 4 個(gè)； 3、EBR ( Edge Bead Remover )； 4、馬達(dá)旋轉(zhuǎn)速度 Max. 6,000rpm； 5、高精度定量泵浦≦0.1cc ( 100cp以下)

Robot Arm 機(jī)械手臂

3軸; X1, X2, X3