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5L等離子清洗機(jī)電容耦合

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公司名稱鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
品牌
型號(hào)
所在地
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間2023/6/8 20:29:12
訪問次數(shù)155

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公司介紹主營產(chǎn)品

鄭州成越科儀是一家專業(yè)從事材料研究設(shè)備和材料制備設(shè)備的高科技公司。我公司的主要熱處理產(chǎn)品有：微波燒結(jié)爐、真空管式爐、箱式電阻爐、高頻感應(yīng)爐、氧化鋯燒結(jié)爐、熒光粉燒結(jié)爐、晶體退火爐、電池材料燒結(jié)爐、旋轉(zhuǎn)管式爐、立式管式爐、CVD管式爐等；其他的產(chǎn)品還有：等離子清洗機(jī)、真空手套箱、真空干燥箱、環(huán)境模擬測試柜、行星球磨機(jī)、高純石英管、99剛玉管、真空法蘭等。如果您正在被國貨的產(chǎn)品質(zhì)量所困擾，選擇我們將改變您對(duì)國貨的某些觀念；如果您正在為自己的實(shí)驗(yàn)方案的實(shí)施而茫然，選擇我們將有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)為您量身定做！如果您正在為故障設(shè)備的售后無人理會(huì)而發(fā)愁，選擇我們一切的問題將由我們負(fù)責(zé)到底。歡迎來到成越科學(xué)儀器，我們有國內(nèi)Z敬業(yè)的工程師團(tuán)隊(duì)竭誠為您服務(wù)！

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實(shí)驗(yàn)電爐

產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

簡單介紹：等離子清洗機(jī)(plasma cleaner)，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的

5L等離子清洗機(jī)電容耦合產(chǎn)品信息

詳情介紹：

等離子清洗機(jī)(plasma cleaner)，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的

5L等離子清洗機(jī) 電容耦合特點(diǎn)：

腔體可利用面積大，起輝均勻，可清洗6英寸硅片。

5L等離子清洗機(jī)電容耦合技術(shù)參數(shù)：

主要部件	指標(biāo)名稱	參數(shù)指標(biāo)
清洗倉體	清洗倉材質(zhì)	SS304
清洗倉體	清洗倉尺寸	200x160x240mm
耦合方式	電容耦合
射頻電源	電源特性	該電源為全固態(tài)射頻電源，采用高穩(wěn)定高可靠的功放模塊和直流模塊，有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質(zhì)量的電子元器件，使產(chǎn)品的可靠性得以保證。
	電源優(yōu)勢	●可長時(shí)間正常運(yùn)行 ● 操作簡單靈活 ● 電源效率高、發(fā)熱少 ● 具有完善的反射功率保護(hù)功能
	射頻功率	0~300W連續(xù)可調(diào)
	信號(hào)頻率	13.56MHz ±0.005%
	反射功率	≤100W
	功率穩(wěn)定度	±0.1%
	射頻接頭	N型頭
	整機(jī)效率	≥75%
	諧波分量	≤-50 dBc
	冷卻方式	強(qiáng)制風(fēng)冷
氣體測量	測量部件	兩路質(zhì)量流量計(jì) Ar 0~200sccm； O2 0~200sccm 可定制其他參數(shù)參考之前的產(chǎn)品
	氣體通道	兩通道
	A通道量程	10～100ml
	B通道量程	16～160ml
真空獲取	真空測量	數(shù)字真空計(jì)（電阻規(guī)）
	真空抽取	雙極旋片泵
	電機(jī)轉(zhuǎn)速	50Hz時(shí)為：1440；60Hz時(shí)為：1720。
	抽氣速率	50Hz時(shí)為：240L/Min；60Hz時(shí)為：288L/Min。
	真空量程	0.1Pa～10000Pa
	極限真空	0.5Pa
	電機(jī)噪音	≤56dB
	管道接口	進(jìn)氣口：KF16;排氣口KF16.
	連接管道	KF16真空波紋管
	真空閥門	KF16球閥
	電機(jī)功率	400W
其它	供電電源	AC220V 50/60Hz
	整機(jī)功率	800W
	使用溫度	-10℃ -- 40℃
	工作真空	≤40Pa
	整機(jī)尺寸	600mmX650mmX560mm
	整機(jī)重量	80kg（含包裝）