測量范圍

(X-軸)

400～800mm(可選)

(Y-軸)

400～650mm(可選)

(Z-軸)

200/400mm

*大允許測量誤差¹⁾

(E1單軸精度）

(0.25+L(mm)/900)µm

(E2平面精度）

(0.70+L(mm)/600)µm

(E3空間精度）

(1.50+L(mm)/500)µm

*大允許測量誤差²⁾

(E1單軸精度）

(0.25+L(mm)/500)µm

(E2平面精度）

(0.70+L(mm)/400)µm

(E3空間精度）

(1.50+L(mm)/300)µm

分辨率

0.01µm

工作臺承重

150kg(300kg可選)

定位速度

60mm/s

加速度

250mm/s²

頻率

48-62Hz

氣壓

48-62Hz

功耗

7-10 bar

儀器重量

1000-6000kg

精度保證環(huán)境條件¹⁾

20℃±0.5^o Δ=0.25 ^o/h

精度保證環(huán)境條件²⁾

20℃±1 ^o Δ=1^o/h

精度檢定光學(xué)放大倍率

10X

濕度

40-70rel.

空氣指標(biāo)

max.0.05mg/m³

適用溫度

10-35℃