設(shè)備名稱

真空感應(yīng)熔煉爐（2020.12.3——升利實(shí)驗(yàn)室審核）

感應(yīng)加熱電源

? 工作電壓：三相，380V AC 50/60HZ

? 輸入功率：20KW

? 空氣開關(guān)：需60A的空氣開關(guān)

? 保護(hù)：自動(dòng)水壓，超溫和超功率保護(hù)

? 輸出頻率：30-80KHZ

? 循環(huán)比：80%

溫度控制器&熱電偶

? 工作電壓;208~240V AC,單相

? 采用PID方式控溫，可設(shè)置30段升降溫程序

? 設(shè)置有超溫&斷偶保護(hù)

? 控溫精度：+/- 5 oC

? 采用C型熱偶（進(jìn)口Ω熱電偶），探頭伸入到石墨坩堝內(nèi)

? 連續(xù)工作溫度: 1000oC~1700oC

? 升溫速率:

? 10oC/second (1000oC-1200oC)
? 8oC/second (1200oC~1500oC)
? 3oC~6oC/second (1500oC~1700oC)

? 1700℃(恒溫時(shí)間<10min）

? 1600℃(恒溫<1小時(shí))

真空法蘭、石英管和防護(hù)罩

? 不銹鋼法蘭上帶有高溫硅膠O型圈，在法蘭上安裝兩個(gè)閥門和真空計(jì)

? 一端封閉的石英管：150mm(OD)*142mm(ID)*300mm(L)

? 在法蘭上連接KF25接頭和KF25的波紋管用于連接真空泵

循環(huán)水冷機(jī)

? 溫度范圍：5~30°C

? 水流量：16L/min

? 水箱：不銹鋼材質(zhì)，容積為12L

? 注意：建議使用特定的冷卻液以獲得性能。在幾次加熱試驗(yàn)后，等待幾分鐘冷卻屬于正?，F(xiàn)象。

真空泵

? 標(biāo)配一個(gè)VRD-8的雙極旋片機(jī)械泵

? 電壓：AC 208-240 50hz,單相

? 功率：800W

產(chǎn)品尺寸

? 感應(yīng)加熱爐：530mm*220mm*430mm

? 水冷機(jī)：590mm*380mm*760mm

? 移動(dòng)鋼框爐架：700mm(L)*1000mm(W)*700mm(H)

（用于放置感應(yīng)加熱器和石英管）

凈重

? 60kg

質(zhì)保期

?一年保修，終身技術(shù)支持。

特別提示：

1.耗材部分如爐管，耐火材料，密封圈，石墨坩堝和感應(yīng)圈等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

注意事項(xiàng)

· 為了保護(hù)石墨坩堝和C熱電偶，在整個(gè)實(shí)驗(yàn)過程必須在流動(dòng)惰性氣氛環(huán)境中進(jìn)行。氣體流量應(yīng)限制在< 200SCCM

· C型熱電偶是耗材，不在我們的保修范圍內(nèi)

· 在連續(xù)的氣體流動(dòng)狀態(tài)下，所有的氣路壓力都在0.02MPa以下。石英管內(nèi)氣壓超過0.02MPa后，可能對爐膛造成不可逆轉(zhuǎn)的破壞

· 當(dāng)出氣口關(guān)閉，爐腔內(nèi)存在正壓狀態(tài)時(shí)，不要加熱爐子。在加熱過程中，必須使用壓力表來密切監(jiān)測加熱腔體內(nèi)情況，一旦燃燒室壓力超過0.02MPa，請立即打開放氣閥，以防止不可預(yù)見的損壞

· 熔化時(shí)間和溫度與材料、坩堝、耐火絕緣等有關(guān)。如果不知道感應(yīng)加熱器是否能熔化您的樣品，請聯(lián)系我們的工程師咨詢

· 石英管內(nèi)部氣壓必須<0.02MPa(相對氣壓）

· 所用氣瓶上必須安裝減壓閥（可在本公司購買）

應(yīng)用

? 此設(shè)備可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物理化學(xué)氣相沉積（HPCVD）系統(tǒng)，請點(diǎn)擊下面的圖片查看，如您有任何特殊需求可聯(lián)系我們