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SDC-580半導(dǎo)體晶圓全自動(dòng)接觸角測(cè)量?jī)x
一·概述（Summary）
? 接觸角（Contact angle）是指在氣、液、固三相交點(diǎn)處所作的氣-液界面的切線，此切線在液體一方的與固-液交界線之間的夾角θ，接觸角測(cè)量是現(xiàn)今表面性能檢測(cè)的主要方法。
SDC-580半導(dǎo)體晶圓款接觸角測(cè)量?jī)x是采用光學(xué)成像的原理，設(shè)備采用圖像輪廓分析方式測(cè)量樣品表面接觸角、潤(rùn)濕性能、表界面張力、前進(jìn)后退角、表面能等性能，設(shè)備采用全自動(dòng)進(jìn)液裝置，性價(jià)比高、拓展性強(qiáng)、功能全面、可滿足各種常規(guī)測(cè)量需求，目前已經(jīng)廣泛使用在眾多高校院所及企業(yè)。
二·儀器應(yīng)用領(lǐng)域
? 接觸角測(cè)量?jī)x廣泛應(yīng)用于各個(gè)行業(yè)領(lǐng)域，在手機(jī)制造、玻璃制造、表面處理、材料研究、化學(xué)化工、半導(dǎo)體制造、涂料油墨、電子電路、紡織纖維、醫(yī)療生物等領(lǐng)域，接觸角測(cè)量已經(jīng)成為了一項(xiàng)評(píng)估表面性能的重要儀器。
（部分測(cè)試功能需要選購專門附件完成）
1. 液體在固體表面的鋪展、滲透、吸收等潤(rùn)濕行為，座滴法測(cè)量靜態(tài)接觸角；
2. 材料在固體表面的前進(jìn)角、后退角、接觸角滯后、滾動(dòng)角、動(dòng)態(tài)接觸角測(cè)量；
3. 吸收材料的連續(xù)實(shí)時(shí)研究及過程記錄，接觸角隨時(shí)間變化曲線分析；
4. 各種特殊材料的接觸角測(cè)量，如粉末、彎曲曲面、超疏水/超親水樣品；
5. 附著滴法測(cè)試材料浸沒在液體中的接觸角測(cè)試；
6. 懸滴法測(cè)量各種液體表界面張力及其極性、色散分量；
7. 計(jì)算固體表面自由能（Surface free energy），及其極性色散分量分析；
8. 分析液體在固體表面的粘附功（Adhersion），評(píng)估固體表面均勻性、清潔度等。
三·儀器介紹
? SDC-580半導(dǎo)體晶圓接觸角測(cè)量?jī)x主要由光源、注射單元、樣品臺(tái)、采集系統(tǒng)、分析軟件五大部分組成，設(shè)備采用光學(xué)成像的原理。
1、光源采用密集LED冷光設(shè)計(jì)，發(fā)光均勻，圖像清洗，壽命長(zhǎng)；
2、注射單元采用高精度注射泵進(jìn)液，由軟件定量定速控制，滴液穩(wěn)定，精度高達(dá)0.01微升；
3、樣品臺(tái)采用三維手動(dòng)精調(diào)平臺(tái)，操作靈活，定位準(zhǔn)確，樣品臺(tái)可根據(jù)實(shí)際樣品尺寸定制；
4、采集系統(tǒng)采用黑白進(jìn)口CCD相機(jī)，拍攝穩(wěn)定，圖像清晰，真實(shí)可靠，鏡頭采用德國(guó)工業(yè)級(jí)進(jìn)口配置，0.7-4.5倍放大可調(diào)，成像無畸形失真；
5、分析軟件功能強(qiáng)大，具備一鍵式全自動(dòng)擬合能力，具備國(guó)際的擬合方法，滿足各種液滴形態(tài)的精確擬合;
五·產(chǎn)品特點(diǎn)
? 專業(yè)級(jí)的高精度全自動(dòng)注射系統(tǒng)，液滴控制精度可達(dá)為 0.1μl
? 可微調(diào)式 LED 工業(yè)級(jí)冷光源系統(tǒng)（壽命 20000H 以上），更清晰的成像，同時(shí) 避免額外熱度所導(dǎo)致的小液滴揮發(fā)
? 采用高性能日本工業(yè)機(jī)芯，無失真遠(yuǎn)心鏡頭，確保的成像效果。
? 采用 USB2.0 標(biāo)準(zhǔn)接口，數(shù)據(jù)傳輸速度快，兼容性高
? 高強(qiáng)度航空鋁合金結(jié)構(gòu)，模塊化設(shè)計(jì)理念，可配置各種常用測(cè)量附件
? 日本原裝高精度 XYZ 三向運(yùn)動(dòng)模組，測(cè)試更平穩(wěn)更準(zhǔn)確
? 自主研發(fā)的集成芯片電路控制，保證儀器以狀態(tài)運(yùn)行
? 多種輔助模塊選取，滿足更多的外部測(cè)試條件
? 家提供德國(guó)進(jìn)口的接觸角測(cè)量校準(zhǔn)樣品，確保測(cè)量結(jié)果精確無誤
? 光學(xué)系統(tǒng)可進(jìn)行傾斜度調(diào)節(jié)，適合超低角度測(cè)量和疏水材料測(cè)量
? 的接觸角分析方法，更適合多種材料接觸角測(cè)量
? 強(qiáng)大的智能化數(shù)據(jù)庫管理：可錄入多組產(chǎn)品參數(shù)和測(cè)量參數(shù)，能隨時(shí)查看及 調(diào)取測(cè)試，進(jìn)行一鍵多點(diǎn)測(cè)量
? 軟件自動(dòng)觸發(fā)攝像和計(jì)算，全自動(dòng)多點(diǎn)測(cè)量，更多的避免了人為操作誤差
? 高速測(cè)量計(jì)算，更適用于產(chǎn)線或大量測(cè)試產(chǎn)品的生產(chǎn)及應(yīng)用，提高工作效率
? 表面接觸角分析模塊，更簡(jiǎn)捷的操作，更準(zhǔn)確的結(jié)果
? 視頻快速測(cè)試數(shù)據(jù)，可連續(xù)性進(jìn)測(cè)試接觸角形態(tài)變化
? 智能化軟件操作：【自動(dòng)尋找測(cè)試點(diǎn)—自動(dòng)滴液—自動(dòng)尋找基準(zhǔn)線—自動(dòng)擬合 測(cè)量】‐‐一鍵控制
六·儀器參數(shù)
接觸角主機(jī) | |
外形尺寸 | 長(zhǎng)835mm，寬330mm，高639mm |
重量 | 約35KG |
電源 | 220V / 60HZ |
光源系統(tǒng) | |
光源 | 密集LED可調(diào)節(jié)藍(lán)色基調(diào)工業(yè)級(jí)冷光源 |
壽命 | 使用壽命達(dá)貳萬伍仟小時(shí)以上 |
注射單元 | |
注射器 | 專用配套高精密石英注射器、容量500μL |
滴液 | 軟件控制自動(dòng)進(jìn)液、補(bǔ)液，精度高達(dá)0.01μL |
注射單元移動(dòng) | 上下50mm; 左右50mm；Z軸自動(dòng)送樣測(cè)試 |
采集系統(tǒng) | |
CCD | SONY高速工業(yè)級(jí)芯片、30幀/S、130W像素 |
鏡頭 | 0.7-4.5倍遠(yuǎn)心變倍變焦雙調(diào)節(jié)式顯微鏡 |
采集系統(tǒng)調(diào)節(jié) | 前后50mm（3mm微調(diào)）、視角角度可調(diào)（平視、俯視、仰視、360°旋轉(zhuǎn)等多視角觀察） |
樣品臺(tái)裝置 | |
工作臺(tái)面尺寸 | 240mm（可定制） |
樣品尺寸 | 12寸/8寸/6寸 |
樣品臺(tái)移動(dòng) | 前后移動(dòng) 手動(dòng)，行程215mm，導(dǎo)軌快速移動(dòng)式 |
分析軟件 | |
接觸角測(cè)量范圍 | 0-180° |
接觸角測(cè)量精度 | ±0.1° |
測(cè)試分辨率精度 | 0.001° |
表界面張力測(cè)量范圍 | 0-5000mN/m |
表界面張力測(cè)量精度 | 0.01 mN/m |
分析方法 | 國(guó)內(nèi)的接觸角測(cè)量分析軟件自動(dòng)擬合法（一鍵自動(dòng)擬合， |
表面自由能 | Zisman、OWRK、WU、WU 2、Fowkes、Antonow、Berthelot、EOS、粘附功、浸濕功、鋪展系數(shù) |
動(dòng)態(tài)接觸角擬合 | 批量截圖擬合、視頻連續(xù)自動(dòng)擬合、自動(dòng)在線實(shí)時(shí)擬合 |
表/界面張力測(cè)試 | 懸滴法（可實(shí)時(shí)全自動(dòng)動(dòng)態(tài)表面張力測(cè)試） |
測(cè)試液滴狀態(tài) | 懸滴法(Pendant Drop)、停滴法(Sessile Drop)（2/3態(tài)）、擄泡法、座滴法、座針法 |
七·接觸角專業(yè)測(cè)量方法
? 座滴法（sessile drop）; 
? 懸滴法（pendant drop）; 
? 薄膜法（lamella method）; 
? 擄泡法（Captive bubble method）; 
? 包覆纖維法（wetted fiber）; 
? 纖維座滴法（sessle fiber drop）;
八· 符合國(guó)家的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)
? GB/T 24368‐2009(玻璃表面疏水污染物檢測(cè))
? SY/T5153‐2007（油藏巖石潤(rùn)濕性測(cè)定方法）
? ASTM D 724‐99（2003）（紙的表面可濕性的試驗(yàn)方法）
? ASTM D5946‐2004（塑料薄膜與水接觸角度的測(cè)量）
? ISO15989（塑料薄膜和薄板電暈處理薄膜的水接觸角度的測(cè)量）
