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出色的重復(fù)性和再現(xiàn)性
(1)單拱龍門式設(shè)計，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性優(yōu)異，大大降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響，提高了測量精度。；
(2)線性可變差動電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13um 量程下可達(dá)0.01 埃。高信噪比和低線性誤差，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。;
超微力恒力傳感器：1-50mg可調(diào)
的傳感器設(shè)計使得在單一平臺上即可實現(xiàn)超微力和正常力測量。測力恒定可調(diào)，以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設(shè)計和微小電磁力控制，實現(xiàn)無接觸損傷的精準(zhǔn)接觸式測量。
超平掃描平臺
系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌，杜絕運動中的細(xì)微抖動，提高掃描精度，真實反映工件微小形貌。
全自動XY載物臺，Z軸自動升降、360°全自動θ轉(zhuǎn)臺
精密的XY平臺結(jié)合360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)電動旋轉(zhuǎn)臺，可以對樣品的位置以及角度進(jìn)行調(diào)節(jié)，三維位置均可以調(diào)節(jié)，利于樣品調(diào)整，提高測量效率。
| 項目 | 內(nèi)容 |
|---|---|
| 技術(shù)測量 | 探針式表面輪廓測量技術(shù) |
| 樣品觀測 | 光學(xué)導(dǎo)航攝像頭：500萬像素高分辨率彩色攝像機，F(xiàn)oV，1700*1400μm |
| 探針傳感器 | 超低慣量，LVDC傳感器 |
| 測量力 | 0.5-50mg可調(diào) |
| 探針選型 | 探針曲率半徑2μm，夾角60° |
| Z軸測量重復(fù)性 | ＜0.5% 在環(huán)境溫度20 ±2 °C下用50X物鏡測量4.7um標(biāo)準(zhǔn)臺階樣塊 |
| 平臺移動范圍X/Y | 電動X/Y（100mm*100mm）（可手動校平） |
| 樣品R-θ載物臺 | 電動，360°連續(xù)旋轉(zhuǎn) |
| 單次掃描長度 | 55mm |
| 樣品厚度 | 50mm |
| 載物臺晶圓尺寸 | 150mm（6時），200mm（8時） |
| 臺階高度重復(fù)性 | ＜1nm（測量1μm臺階高度，1δ） |
| 傳感器量程 | 330μm |
| 垂直分辨力 | 分辨力＜0.25 ?（量程為13um時） |
| 掃描速度 | 2μm/s-10mm/s |
| 儀器電源 | 100-240 VAC，50/60 Hz |
| 使用環(huán)境 | 相對濕度：濕度（無凝結(jié)）30-40% RH 溫度：16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃) 地面振動：6.35μm/s（1-100Hz） 音頻噪音：≤80dB 空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動） |
| 尺寸和重量 | 長×寬×高: 640*626*534(mm) 儀器總重量：<> |
