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性能特點(diǎn)
■ 采用無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)
■ 長工作距、明暗場兩用平場消色差物鏡，成像清晰、像面平坦
■ 配備反射式柯拉照明系統(tǒng)，為不同倍率的物鏡提供均勻充足的照明
■ 正像三通觀察筒，25°傾斜，極大的提高了觀察的舒適性與操作的適應(yīng)性
■ 配備了4寸帶離合器的機(jī)械平臺(tái)230X215mm，行程105mmX105mm，可快速移動(dòng)
■ 舒適人機(jī)學(xué)設(shè)計(jì)，高剛性鏡筒，“Y”型底座，調(diào)焦機(jī)構(gòu)采用前置式操作控制，精微調(diào)同軸
■ 光源采用寬電壓數(shù)字調(diào)光技術(shù)，具有光強(qiáng)調(diào)定與復(fù)位功能
■ 可選配攝影攝像裝置、簡易偏光裝置、干涉濾光片、測微尺等附件，拓展應(yīng)用領(lǐng)域
技術(shù)參數(shù)
配 置 | 參 數(shù) | |
型號(hào) | MX6R | MX6R（透反） |
光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng) | |
觀察方法 | 明場/斜照明/偏振光/DIC | 明場/斜照明/偏振光/DIC/透射光 |
觀 察 筒 | 正像觀察筒，25°鉸鏈?zhǔn)饺?，分光比，雙目：三目=100：0或0：100 | |
目 鏡 | PL10X/22平場高眼點(diǎn)目鏡 | |
轉(zhuǎn) 換 器 | 5孔內(nèi)傾式明暗轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽 | |
物 鏡 | 無限遠(yuǎn)長工作距明暗場金相物鏡5X LMPL5X /0.13 WD11mm | |
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場金相物鏡10X LMPL10X /0.25 WD9.5mm | ||
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場金相物鏡20X LMPL20X /0.4 WD3.4mm | ||
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消金相物鏡50X LMPLFL50X /0.6 WD7.5mm | ||
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消金相物鏡100X LMPLFL100X /0.80 WD2.1mm （選配） | ||
調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm，微調(diào)精度0.001，帶粗調(diào)機(jī)構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器，單路電源輸出 | |
載 物 臺(tái) | 4英寸機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),低手們粗微同軸調(diào)節(jié),平臺(tái)面積230X215mm,移動(dòng)范圍：105X105mm,含金屬載物臺(tái)板，右手位X、Y移動(dòng)手輪，配平臺(tái)接口 | 4英寸機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),低手們粗微同軸調(diào)節(jié),平臺(tái)面積230X215mm,移動(dòng)范圍：105X105mm,含玻璃載物臺(tái)板，右手位X、Y移動(dòng)手輪，配平臺(tái)接口 |
顯微鏡鏡體 | 粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm，微調(diào)精度0.001mm,，帶粗調(diào)機(jī)構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器，單路電源輸出 | 粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm，微調(diào)精度0.001mm,，帶粗調(diào)機(jī)構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器，雙路電源輸出 |
反射照明系統(tǒng) | 帶可變視場光闌與孔徑光闌，均可調(diào)中心；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽；帶斜照明切換拉桿，12V100W鹵素?zé)?，光?qiáng)連續(xù)可調(diào) | |
偏光附件 | 檢偏鏡可360度旋轉(zhuǎn)，起偏鏡和檢偏鏡均可移出光路 | |
CTV接口 | 1X（標(biāo)配）、1/2X（選配） | |
透射照明系統(tǒng) | / | 單顆大功率5W LED，白色，光強(qiáng)連續(xù)可調(diào)。N..A.0.5聚光鏡，帶可變孔徑光闌 |
寬視場鉸鏈?zhǔn)饺坑^察筒
正像鉸鏈三目觀察筒，所成像的方位與物體實(shí)際方向相同，物體移動(dòng)的方向跟像面移動(dòng)的方向相同，便于觀察與操作。
大行程移動(dòng)平臺(tái)設(shè)計(jì)
采用6寸平平臺(tái)設(shè)計(jì)，行程158×158mm，可適用于對(duì)應(yīng)尺寸的晶圓或FPD檢測，也可用于小尺寸樣品的陣列檢測。
高精度物鏡轉(zhuǎn)換器
轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計(jì)，轉(zhuǎn)動(dòng)手感輕巧舒適，重復(fù)定位精度高，物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制。
安全、穩(wěn)重的機(jī)架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
工業(yè)檢測級(jí)顯微鏡鏡體，低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機(jī)架，保證了系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。
其前置低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器，可適應(yīng)不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。底座內(nèi)部設(shè)計(jì)有風(fēng)循環(huán)散熱系統(tǒng)，長時(shí)間使用也不會(huì)使機(jī)架過熱。
明場觀察（透射）
5W大功率LED，配以N.A.0.5聚光鏡，可以透照明下，觀察LCD彩色液晶顯示屏，器件框架邊緣等。
透射照明與反射照明為獨(dú)立控制，即可同時(shí)亮，也可單獨(dú)亮。
明場觀察（反射）
遠(yuǎn)心坷拉反射照明系統(tǒng)，配以全新設(shè)計(jì)的無限遠(yuǎn)平場消色差長工作距金相物鏡，從低倍到高倍，都能得到清晰、平坦、明亮的高畫質(zhì)顯微圖像。
簡易偏光觀察
將起偏器鏡及檢偏鏡插板插入照明的準(zhǔn)確位置，即可進(jìn)行簡易偏光觀察。檢偏鏡可分為固定式和360°旋轉(zhuǎn)式兩種。
暗場觀察
將暗場照明拉桿拉到準(zhǔn)確位置，即可使用暗場功能，可以觀察物體表面的各種劃痕、雜質(zhì)點(diǎn)及其他細(xì)微缺陷，暗場功能只限于MX6R/MX6R（透反）機(jī)型。
DIC微分干涉觀察
在正交偏光的基礎(chǔ)上，插入DIC棱鏡，即可進(jìn)行DIC微分干涉相襯觀察。使用DIC技術(shù)，可以使物鏡表面微小的高低差產(chǎn)生明顯的浮雕效果，極大的提高圖像的對(duì)比度。
5X、10X、20X專為DIC設(shè)計(jì)，使得整個(gè)視場的干涉一致，微分干涉效果非常出色，高倍物鏡DIC效果也較好。
