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用途 | 用于IC,晶圓等電子、半導體、醫(yī)療行業(yè)高潔凈度烘烤制程工藝 |
溫度范圍 | 室溫＋10℃～250℃ |
溫度波動度 | 恒溫溫度波動±0.5℃ |
溫度均勻度 | 計算方法:設定150℃,6點測溫,(max-min)/min≤3.5% |
工作室尺寸（mm） | 450（深）*450（寬）*600（高）（可自定） |
潔凈度（class） | Class100 |
氣體過濾 | 配有氣體過濾裝置，保證腔體內(nèi)潔凈度為100級 |
隔板要求 | 每個腔體配二個隔板，用不銹鋼板沖孔制成 |
箱體外壁材料 | 冷軋鋼板靜電噴塑（或SUS304） |
箱體內(nèi)壁材料 | 為不銹鋼板內(nèi)壁氬弧焊（SUS316或SUS304） |
保溫材料 | 優(yōu)質(zhì)超細納米玻璃棉 |
氮氣接口 | 能將箱內(nèi)空氣排出，確保烘烤的硅片是在氮氣中進行 |
控制方式 | 人機界面+PLC控制 |
氮氣流量 | 0.3~0.5M3/H(可調(diào)，可選擇具有流量偏低/偏高報警功能,并實時監(jiān)控記錄曲線） |
超溫保護 | 采用獨立的超溫保護裝置，確保溫度不超限；當保護裝置動作時，超溫保護裝置自動切斷加熱電源并進行聲光報警、控制儀采用LED顯示且可調(diào) |
計時方式 | 溫度達到制程設定值后開始計時. |
排風口 | 直徑50mm的排風口,且安裝有調(diào)節(jié)風閥 |
電氣安全保護 | 風機過載保護、加熱系統(tǒng)超溫保護、電磁門鎖保護、安全接地保護. |
MES軟件 | 可連接MES系統(tǒng) |
作業(yè)時掃碼可實現(xiàn)自動調(diào)取所需作業(yè)程序,作業(yè)員只需確認是否正確 | |
自動記錄作業(yè)累計次數(shù)，作業(yè)批號,作業(yè)人員,作業(yè)起止日期及時間,作業(yè)溫度曲線,作業(yè)條件,可自動生成Excel報表 | |
有權(quán)限操作員需掃碼后才可操作此設備,且自動記錄作業(yè)人員 |
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