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全氟辛基三氯硅烷涂膠機(jī)，抗粘劑PFTS真空烘箱的應(yīng)用領(lǐng)域：
在納米壓印工藝中，要求作為壓印膠的聚合物和基底材料之間能有較強(qiáng)的附著能力，這樣才能保證在退模過(guò)程中不會(huì)與基底脫離而導(dǎo)致結(jié)構(gòu)被破壞;同時(shí)聚合物和模板之間應(yīng)有盡可能低的界面能，以防止在退模過(guò)程中因聚合物與模板之間發(fā)生粘連影響壓印質(zhì)量用然可以通過(guò)選擇合適的材料滿足這樣的要求。因此更多的是采用在模板上修飾抗粘層的辦法。目前主要有以下方法在模板上制備抗粘層。
硅烷涂膠機(jī)主要用于納米壓印光刻（NIL）應(yīng)用，防粘涂層的制備，可用于光刻工藝中HMDS增粘劑涂膠；以及功率半導(dǎo)體,LED,MEMS,半導(dǎo)體分立器件等硅烷沉積涂膠工藝。
全氟辛基三氯硅烷涂膠機(jī)，抗粘劑PFTS真空烘箱的技術(shù)性能：
容量：1-12寸均可，300*300*300,450*450*450，600*600*600（mm）
硅烷添加劑：1-2種
內(nèi)箱體材質(zhì)：316L不銹鋼
氣體輸入：1個(gè)（氮?dú)猓?/span>
工作溫度范圍：80-200/300°C
腔室壓力控制：1tor~100tor
硅烷添加量：2 – 100mL
工藝選擇：可同時(shí)設(shè)定5個(gè)工藝
正常運(yùn)行時(shí)間：> 95％
涂膠原理：氣相沉積法
真空泵：干泵
電源及總功率：AC 220V±10% / 50HZ ， 3.5KW
控制方式：人機(jī)交互+PLC智能操作
操作方式：一鍵運(yùn)行/手動(dòng)操作
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